無塵室空調箱選用注意事項

無塵室有五個特性：
（1）耐久性
無塵室（shì）要有符合環境、無（wú）塵室內（nèi）部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾係統的耐久材料。而耐久性，同（tóng）時也依賴無（wú）塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇（zé）鋁，基於它的耐久性，然而，它不是（shì）便宜（yí）的物質。
（2）清（qīng）洗
在製藥和生（shēng）物工學（xué）工業，無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒（dú）或細菌的汙染之特性。在biotech市場（chǎng），清洗（xǐ）真正地是一個zui重要的企業。
（3）成本
微電子C/R建設費（fèi）可能花（huā）費到$10億。fab能更快的被建造起來，產品也（yě）就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很（hěn）重要（yào）的考慮（lǜ）因素。
（4）適應性
一些廠商（shāng）認為適應性可節（jiē）省一筆金錢，而適應性（xìng）意指係統可任意（yì）移動（dòng）或改（gǎi）變而不會（huì）招大（dà）的（de）損失（shī）。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵，所以他（tā）們從不將zui初的設計定型。
（5）維護性
對無塵（chén）室C/R而言，較嚴格要求的部（bù）分（fèn）為地板、天花板，以及牆壁的部分。至於維修的問題（tí），對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級（jí）。在應用力麵（miàn）、天花板、地板及牆壁三者之中zui重要的（de）為天花板，其包含（hán）HEPA及ULPA等濾（lǜ）網，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同（tóng）的需要，便其分開來，供（gòng）應各個不（bú）同區域的小房間，曾有人說：若建（jiàn）造（zào）之預算因（yīn）某種原因被限製，除了少數的小錢外，其天花板將趨於更貴的地步，其實天（tiān）花板是一個頗複雜的係統其必（bì）須嚴格地過濾粒子，故其設計（jì）必須。對C/R而言，其（qí）選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的（de）地板（bǎn）會造成地板彎曲甚致破裂，但並不是所有C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基（jī）。有些地板（bǎn）是衝孔式、格子式，而全麵層流都是衝孔式。乙烯（xī）基有（yǒu）一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它（tā）物若混合的話（huà）將會有減低脫氧（yǎng）的效果，而無塵室的牆若以鋁作為材料（liào）則（zé）將會非常昂貴，但鋁卻可以保護（hù）牆麵（miàn）不被空氣所氧化（huà），可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方（fāng）法是使（shǐ）用電鍍，便鋁表麵增厚，不易氧化，再在鋁（lǚ）表麵上再塗上一層亮光漆即（jí）可防止金屬氧化。
對於半導體工業而（ér）言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空（kōng）氣中的粒子要求非常之嚴（yán）格，故對天花板、牆壁、地板的（de）要（yào）求亦非（fēi）常（cháng）嚴格。地板是人員、台車及重（chóng）量（liàng）的運輸。當（dāng）我們看見地板磨損時，也就是使用（yòng）期已太（tài）久，快破裂了，不僅會使得清靜度的（de）降級，也會因地板的磨損而發生空氣中粒（lì）子的增加。另外，C/Rzui怕的就是粒子（zǐ）泄漏。天花（huā）板中的濾網有很多種。例如層流式C/R而花板的組（zǔ）成（chéng）組件包（bāo）含（hán）了HEPA/ULPA濾網組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優（yōu）點為，放置方（fāng）式並沒有嚴格的限製。C/R之牆壁還有一種是（shì）以薄鋼製成，但必須在表層塗上一層保（bǎo）護層，否則亦（yì）會腐蝕，它並不容易（yì）電（diàn）鍍，而在表層塗上的（de）保護層（céng）會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質量的不鏽鋼，就不必塗上保護層，而使用玻璃作的（de）C/R會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須塗上一抗紫（zǐ）外線的障礙物。
無塵室用空調箱選用時應注意的事項
對每個工程師或設計師（shī）而言，選用清淨室的空調係統大概（gài）是zui複雜（zá）的（de）問題（tí）之一，因為清淨室之空調條件要（yào）比（bǐ）平常的空調區間來的複雜且（qiě）較嚴格，人都用於醫院、藥品製造、精密電子零件製造場等。
（一）就*法令而言
各個國家*對清淨式（shì）的設（shè）計條件要求不同，應（yīng）注意設計時*之時令。設計清淨室之AHU應府合FDA法規或 EPA排放空氣法則。IAQ已漸漸（jiàn）被重視（shì），設（shè）計時應注意IAQ之法規。視使用場合而定，過濾方法又可分成機械過濾法與化學過濾法。初級過濾，中級過濾，過濾與無菌的環境以機械過濾法即能（néng）達成。為達（dá）到排（pái）氣之環境要求化學洗滌器，焚化爐或更多（duō）的機械及化學過濾設備必需被應用。活性碳或高錳酸鹽（yán）能有（yǒu）效（xiào）達（dá）到化（huà）學過濾的要求。
（二）就成本而言
在一些外（wài）表特殊的（de）建築物中，那些增加的設計和設備使用的費用在長期的利益中須作正確的判（pàn）斷（duàn）。在一些特別的應用上，通常都習慣設計兩至三次的過濾以達到所要求的狀態。傳統的（de）清淨室若遇（yù）上要（yào）求較為（wéi）嚴格的部份時，設計必（bì）須有許多額外加價的部份。清淨室應盡（jìn）量避免停機的現象（xiàng），在（zài）建造的成本裏必（bì）須注意耐久性及可*度。在風門調（diào）整上，設計者設計時，對溫度及濕度的要求不同，就像是在設計人們的居住環境一（yī）般。在居住環境中，停機期和溫濕度上的要求較放置設備上（shàng）來得高。所以質量上及所提供的服（fú）務成果（guǒ）是不能忽視的。在特殊的清淨（jìng）室傳送或接收的設備（bèi），在錯誤（wù）修改（gǎi）應用上費用是比較昂貴的，且若不能與設計圖上一樣，可能（néng）會無法執行。在設計特殊的清淨室時，建築的成本中包括運轉（zhuǎn）成本，而運轉成本又包括須能持續運轉的（de）馬達（dá）成本及修護成本。成本的歸納有（yǒu）裝置費，持續運轉費，維修費。計算運轉成本必須考慮到能量的消耗及效率的（de）高低。就率或新（xīn）機台啟動前，會先引（yǐn）進外氣，這樣對（duì）旋轉的原動力、交流板（bǎn）、排（pái）氣的管路（lù）和空氣回流混合係統中，長期使用可保持較（jiào）高的效率。在操作（zuò）上和持（chí）續運（yùn）轉費用上必須考慮是否提高整個的（de）設備費用。
（三）就（jiù）工作參數設定而言
*的溫度、濕度噪音、振動及運（yùn）作的環境要求下，大部（bù）份將影響到設（shè）備的選用。就某些實例而言，溫濕度的設（shè）定點在可接受的範圍內必須要維持在一個長時期或較完（wán）整（zhěng）的環（huán）境及過程。清淨室的（de）加熱力法可用熱水、水蒸氣瓦斯和電能，可用冰水（shuǐ），乙醇或冷媒冷卻。使用水蒸氣、注（zhù）射器、噴霧器及滲透的方法可以加濕。當評（píng）估加（jiā）濕的來源時（shí），特別要注意（yì）的是加濕過程和加濕的（de）方（fāng）法是（shì）否保證清潔（jié）。典型的清淨室（shì）通風管理裝置使用（yòng）一個有吸收力（lì）或吸附力的物（wù）質（zhì）去除大氣中的（de）濕氣或使用低溫乙醇螺管係統去濕。溫濕度設定後，就必須考慮空氣流量參數是否滿足所需。典型的（de）清淨室必須維持（chí）在大氣常壓下（xià）。因此房（fáng）內（nèi）之壓力及體積之值必須適當予以控（kòng）製。風扇的（de）噪音與震動必須被考慮上去。適當的裝配器材及馬達轉速（sù）可（kě）避免不必要的噪音和振動。風扇結構可使（shǐ）用（yòng）皮帶驅動或直接驅動。風速控製及（jí）可變頻率控製（zhì）可以依體積需要（yào）來決定噪音及振（zhèn）動的限（xiàn）度。zui普通的減振方法為（wéi）裝置彈（dàn）簧基座、固定基座及將（jiāng）空調箱（xiāng）遠離。常用的聲音衰減器有可動式地板、緩衝機（jī）和風（fēng）扇彎曲度及伸縮度控製。聲音衰減器隔離（lí）風（fēng）扇和設計成薄的特性，可降（jiàng）低（dī）幾度音階結合。除了粒子的控製之外（wài），特別要考慮的有（a）帶（dài）細菌的操作過程（b）腐蝕物或有毒的化學物品（c）揮發性或易爆（bào）發的藥劑（d）還有室內（nèi）及排氣的（de）空氣質量（e）安全（f）設備壽命和保養能力等。
（四）就建築考慮方麵
空間的（de）使用率會（huì）影響AHU的實際大小。保養門和通路儀表板的位置必須謹慎地決定，特（tè）別是位於小空間的設備。應防止（zhǐ）表麵凝結，除（chú）了（le）涉及濕氣作用和凝結在設備的外部之外，濕氣對（duì）於空氣傳遞設備內部（bù）構成要素（sù）也有（yǒu）不利的影響（xiǎng），混氣對內部構（gòu）成也有不（bú）利影響，將使壽（shòu）命（mìng）縮短，成本提（tí）高。濕氣作用將會散布弊病和汙染（rǎn）物（wù），便得效率低的令人害怕。減（jiǎn）低建築物的腐蝕物質和鋁、不鏽鋼或塗上（shàng）一層合金，可以使用上列物質使清淨室（shì）壽命增加（jiā）。設（shè）計設備空間時，應保（bǎo）留適當（dāng）的通路，以備打掃或維修用。對於銅（tóng）製的、不鏽鋼製和鋁製的盤管，應注意那種場合適用那（nà）些盤管。