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電子潔淨室的設計探討

更新時(shí)間:2016-10-18  |  點擊率:2382

1、平麵由工藝決定(dìng),電子工業潔淨廠房的工(gōng)藝(yì)布局應適應電子產品發展的靈活性,滿足(zú)產品生(shēng)產工藝改造和擴大生產的需求(qiú)。
2、
主體結構宜采(cǎi)用大空(kōng)間(jiān)及大跨度柱(zhù)網,不宜采用內牆承重體係。
3、
大型電子工(gōng)業潔淨(jìng)廠房常采用上(shàng)技術夾層、下技術(shù)夾層這種夾心式多層(céng)構(gòu)造。
4、
應考慮大型(xíng)生產工藝設備的安裝(zhuāng)、維修要求,設置必要(yào)的(de)運輸通道和不影響潔淨生產環境的安裝口或(huò)檢修口。
5、
電子工業潔淨(jìng)室按二級耐火等級設計(jì)。
6、
特種氣體的儲存和分(fèn)配間應有耐火隔牆(qiáng)與潔淨室(區)分開,該(gāi)牆耐火極限不低於(yú)1H。有毒的矽烷或(huò)其(qí)混合物(wù)氣瓶存區至少三麵是敞開的,氣瓶與周圍構築物或圍欄(lán)之間的距離應大於3M,儲存區設(shè)置的雨(yǔ)篷應不低於3.5M
7、
電子工業潔淨室的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。
8、
電子工業潔(jié)淨室允許(xǔ)設空氣吹淋室,這是和一般(bān)生物潔淨室不同的。吹淋室應與潔淨工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按zui大班人數(shù)為30人一(yī)間設計,當工作人員(yuán)超過5人時,應(yīng)設旁門,當人數太多或為了縮短(duǎn)通過時間,也可設遂道式吹(chuī)淋室。
9、
對於別潔淨室(shì),為了盡可能不影響氣流的單向性、平行(háng)性,照(zhào)明燈具采用(yòng)淨(jìng)化淚珠形燈具。
10、
電子工業潔淨室常要根據生產工藝要求設置防靜電環境,以便抑(yì)製(zhì)靜電的產生,將已產生的靜電(diàn)迅速、安全的排除。
11、
電子工業潔淨室友有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源。
12、
電子工業潔淨室除有一般給排水要求外,對超大規格集成電路的用水也有(yǒu)標準。

 

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