探討潔淨室的（de）濕度測量

要想獲得*的（de）濕度測量數據，選擇正確的測量儀器十分重要。同時，還（hái）應定期按照可追溯性標準進行校準。在潔淨室內生產的（de）產品範（fàn）圍很廣，包括藥物（wù）和半導體等。通常情況下，濕度、溫度、顆（kē）粒和壓力都是受控的，因為這些參數對產品質量和生產效率而言具有非常（cháng）重要（yào）的影響。
相對濕度
相對濕度（%RH）用於描述（shù）存在於空氣（qì）和水的氣體（tǐ）混合物內的水蒸氣含量。它是指空氣中實際含有的（de）水蒸氣（qì）量與當時（shí）溫度下飽和水蒸氣量的（de）百分比。在生產現場出（chū）現的問題，例如材料的膨脹和收縮、硬化和軟化、液體的（de）粘（zhān）度變化、微生物的繁殖、靜電增加、腐蝕和生鏽等很大程度上都受到濕（shī）度的（de）影響。
露點
露點（Td）是指露水或（huò）冷凝水在（zài）冷卻氣（qì）體上形成時的溫度。露點溫度用於描述氣（qì）體（例如空氣）中非常微（wēi）小的水（shuǐ）分含量。半導體在微機械加工過（guò）程中，由於水分子被認為（wéi）是（shì）汙染物，因此其加工環境極其幹燥。在這（zhè）種情況下（xià），相對濕度幾乎保持在0%RH，但是露點溫（wēn）度對於被測氣體（tǐ）的水分含（hán）量變化而言（yán）仍然非常敏感。
不同的應用，不同的需（xū）求
製藥廠通常配備有大量的潔淨室。溫度和（hé）濕度的控製和記錄都（dōu）嚴格按照GMP（優良製造規範）的要求執行。濕度傳感（gǎn）器zui重要的特性就（jiù）是（shì）誤（wù）差非（fēi）常（cháng）小。進行的校準對於傳感器而言至關重要，這樣可（kě）以檢（jiǎn）查其在長時間內是否存在漂移現象。
在食品加工廠，必須將生產現場保持（chí）或（huò）低於某（mǒu）一特定的濕度。通常為40%或更低的濕度值。這有助於抑製可能引發食物（wù）中毒的微生（shēng）物（wù）和細菌的繁殖。在半導（dǎo）體和電子產品（pǐn）工廠，產品的更新換代越來越快。因此（cǐ），在生產過程中對濕度和露點的控製也變得更加嚴格。在（zài）生產現場的微環境下，常（cháng）常要求達到+/-1%RH的超高精度。液晶顯示器製造（zào）廠和塗料生產廠的濕度控製也同樣重要。在這種況下，濕度（dù）傳感器的耐用性（xìng）和精度就顯得十分重要（yào）。這些工廠會產生影響傳感器元件的各種氣體。用（yòng）於測量空氣中水分含量的濕（shī）度傳感器大致可分為兩種類型。一種用於測量濕度，另一種則用於測量露點。在（zài）濕度水平高（gāo）於10%RH的空氣中通（tōng）常需要進行（háng）濕度測定，在低（dī）濕度的環境下，則（zé）傾向於測量露點。在（zài）某些高濕條件下，采（cǎi）用（yòng）露點測量會更方便。
露（lù）點儀的原理及技術進展
1、冷鏡式露點儀
不同水份含量的氣體在不同溫度下的（de）鏡麵上會結露（lù）。采用光電檢測技（jì）術，檢測出露層並測量結露（lù）時的溫度，直（zhí）接顯示露點。鏡麵製冷的方法有：半導體製冷、液氮製冷（lěng）和高壓空氣製冷。冷鏡式露點儀采用的（de）是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡麵製冷率和精密測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。目前上zui高精度達到±0.1℃(露（lù）點（diǎn）溫（wēn）度)，如歐伯特公司的S8000，S4000、Optidew Vision、Optidew等，一般精度可達到±0.5℃以內。
2、電傳感器式露（lù）電儀
采用親水性材料（liào）或憎（zēng）水性材料作（zuò）為介（jiè）質，構成電容或電阻，在含水份的氣體流經後，介電常數或電（diàn）導率發生（shēng）相應變化，測出當時的電容值或電阻值，就能知道當時的氣（qì）體水份（fèn）含量。建（jiàn）立（lì）在露點單位製上設計的該類傳感器，構成了電傳感器式露點分析（xī）儀。目前（qián）上zui高（gāo）精（jīng）度達到±1.0℃(露點溫度)，如MICHELL公司的EASIDEW ON-LING，CERMX II、一般（bān）精度可達到±3℃以內。如MICHELL公司EAS-TX-80，EAS-TX-100，EA2-TX-100-HD，MDM300，EASIDEW PRO IS等。
3、電介法露點儀
利用五氧化二磷等材料吸濕後分解成極性分子，從而在電極上積累電荷的特性，設計出建立在含濕量單位製上的電解法微水份儀。目前上（shàng）zui高精度達到（dào）±1.0℃(露點溫度)，一般精度可達到（dào）±3℃以內。此種方式對氣體的潔淨要求比較高，可測腐蝕性氣體。
4、晶體振蕩式（shì）露點儀
利用晶（jīng）體沾濕後振蕩頻率改變的特性，可以設計晶體振蕩式露點儀。這是一項較新的技術，目前尚處於（yú）不十分成熟的階段。國外有相關產品，但精度較差且成本很高。就是價格比較貴。
5、紅（hóng）外露（lù）點儀
利用（yòng）氣體中的水份對紅外光譜吸收的特性（xìng），可以設計紅外式露點儀。目前該儀器（qì）很（hěn）難測到低露點（diǎn），主要是紅外探測（cè）器的峰值（zhí）探測率還不能達到微量水吸收的量級（jí），還有氣體中其他成份含量對紅外（wài）光譜吸收的幹擾。但這是一（yī）項很新的技術，對（duì）於環境氣體水份含量的非接觸式在線監測具有重要的意義。
6、半導體傳（chuán）感器露點儀
每個水分子都具有其自然振動頻率（lǜ），當它進入半（bàn）導體晶格的空隙時，就和受到充電激勵的（de）晶格產（chǎn）生共振（zhèn），其（qí）共振頻率與水的摩爾數（shù）成正比。水分子（zǐ）的共振能使半導體結放出自（zì）由電（diàn）子，從而使晶格的導電率增大，阻抗減小。利用這一（yī）特性（xìng）設計的半導體（tǐ）露點儀可測到-100℃露點的微量水份。