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1、換氣次數
潔淨室內的空氣分（fèn）配設（shè）備（通常是吊頂過濾器）被設計成“噴淋式”，用來提（tí）供（gòng）統（tǒng）一的、潔淨的已過濾的空氣。向房（fáng）間補給的空氣量（liàng），讓人想起與普（pǔ）通的淋浴噴頭相反的消防（fáng）。美國聯邦標準209E、日本標準JIS B9920和ISO 標準14644-1的標題是（shì）：潔淨室外和相關控製環境——*部（bù）分：清潔空氣的分級。這些標準提供（gòng）了潔淨（jìng）室參數（shù）、分（fèn）級和檢測方法的指導方針，但（dàn）並未說明如何經濟有效地達（dá）到要求。這是因為每種生產過程和（hé）潔淨室外的要求是不同的（de），因（yīn）此，可以采用不（bú）同的再循環空氣量，達到預期的（de）環境要求。至少有五種不同的“可（kě）能”設計能夠達到預期的結果，然而隻有一種設計是*方案（àn）。為項目尋找*和（hé）的解決方案，是潔淨室外換氣（qì）項目的zui基本的（de）目標理念。
房間內（nèi）汙染物的比率和實際（jì）微（wēi）粒產生情況，是影響潔淨室空（kōng）氣換氣次數的主（zhǔ）要因素。在生產過程中，不對其他因素產（chǎn）生任（rèn）何影響的情況下，清除（chú）微粒的（de）速度（dù）是非常重要的。其他可能影響再循環（huán）空（kōng）氣數量（liàng）的因素（sù）是：房間的結構、設備的位置、設備表麵溫度、空氣對流、氣流類型（單向（xiàng）通過敏感區或者（zhě）通過全空間）、操作空間和規章、使用的材料（liào）和化（huà）學藥品等。
潔淨室可（kě）能需要（yào）在靜態下進行（háng）鑒定，在工況下進行鑒定，對生產過程進行確認（rèn）或者cGMP認證（zhèng）。由綜合服務管理部製定的聯邦標準209（e），建議100或90fpm。然而有可能建立一個空氣流動（dòng）速度較低，但比100級潔淨度更高的潔（jié）淨室。實（shí）際上，已經有潔淨室的空氣流（liú）動速度（dù）是45cfm/平（píng）方英尺。
2、單向的、紊流的、垂直或（huò）水（shuǐ）平氣流
在許多（duō）案例中，單向氣流隻在（zài）小空間和潔淨室的敏感區域內使用，並且（qiě）使用微環境。汙染物的源頭可能存在於（yú）手套箱、過濾模塊等地方。多數設計為整體單向氣流（liú）潔淨室外的方（fāng）案，隻有在這些區域中沒有作（zuò）業者、生產設備和排風裝置時才能實現單（dān）向氣（qì）流。垂直或水平氣流的選擇，取決於房間的結（jié）構和設備的安放位置，紊流就可以將汙染（rǎn）物帶（dài）走。
潔淨室內（nèi）的架空地板是用來掩蓋工具、設備與動力設備之間（jiān）的電線、通訊電纜、水電、管（guǎn）道的（de）連接的。後來，為了節約成本，在“bay-and-chase”式（shì）的潔淨室結構中（zhōng），這（zhè）些架（jià）空地板被當作從港灣到（dào）夾層的回內通道。在*單向氣流的潔淨室（shì）內，人們（men）希望微粒從工作區域流到帶小孔的地板下。我（wǒ）們已經成（chéng）功的建立了10級和100級的潔淨室，在這些潔淨室內沒有架空地（dì）板，采用牆下部回風係統（tǒng），而且潔（jié）淨（jìng）室的氣流被設計成紊流。另個一種辦法是用薄的空氣噴射裝置隔離超清潔區域，這（zhè）種空氣噴射的速度（dù）是每分鍾500到800英（yīng）尺。它的功能（néng）類（lèi）似於（yú）塑料門簾。
3、空（kōng）氣過濾。花費因素變（biàn）量：-0.032至0.10
采用未端HEPA過濾器對空氣進行過（guò）濾，0.3到0.5微米的去除效率為99.99%,0.12微米的去除效率為99.999%;若使用ULPA過濾（lǜ）器，0.12微米的去除效率為99.99995%。根據潔淨室外的用途，也可以選擇其他的（de）設備，例（lì）如，在循環風加（jiā）新（xīn）風處理係統中，使用HEPA過濾器用碳吸附或相（xiàng）似（sì）功能的合成過濾器處理VOC，靜（jìng）電過濾箱，等等（děng）。
在潔淨室市場上（shàng），風機過濾不再是新產品，正確（què）的應用它可以為許多高（gāo）水（shuǐ）平潔淨室提（tí）供的、經（jīng）濟的解決方案（àn），尤其是在吊頂高度有限的建築內。已證明降低（dī）成本和減小過濾器（qì）的壓降（在潔淨室壽命期內，使用低等級過濾器，長時（shí）間采用高壓降（jiàng）方式（shì）運轉，所帶來的效益並不總是十分明顯）。
4、空氣處理器。花費因素變量：-0.07至0.15
新風處理空調箱[Make-up AHU s]。典型的新風處理空調箱（xiāng）（初級AHU s）為循環風空調箱（二級AHU s）提供必需的新（xīn）風。新風由（yóu）離心排風機、軸流或plug風機加上過濾器、預熱（rè）和再熱用熱水盤管、冷卻和除（chú）濕使用的（de）冷凍水盤管、蒸汽和絕熱加濕器等組成。附件（jiàn）和差異包括靜電空氣混（hún）合器、蒸汽預熱（rè）盤管、超聲波加濕（shī）器、鹽水、除濕用的直接交換[Dx]或乙二醇（chún）低溫冷（lěng）凍盤管、VOC吸附過濾器（qì）、噪聲衰減器（qì），VFP（變頻）驅動等（děng）。
新風處理空調箱通道是將（jiāng）空氣注（zhù）入集管，再通過支管係統給循環風空調箱提供新風。在初級和二級風管上進行空氣測（cè）量（liàng），並（bìng）調節送風機、VFD或進口風閥以便恒定風量。Magnahelic講量器臨測安裝在各個空調箱內HEPA過濾器布袋過濾器和預過濾器的荷載。有吊頂風機過濾（lǜ）器的情況下，新風處理空調（diào）箱出來的空氣進入循環（huán）風空調箱再送（sòng）出。典型的（de）循環風空調箱由離心式風機、過濾（lǜ）器和濕熱（幹）冷盤（pán）管（guǎn）組成。附加和差異包括用於局（jú）部溫度控（kòng）製的再熱盤管（guǎn）、用（yòng）於局部濕度控製的蒸汽或超聲波加濕器、風量恒定控（kòng）製箱。這種采用Whisper-Air and Compac Space 風機係統的方式提供了一種節約成本和（hé）充分使用能源的選（xuǎn）擇。多重循環（huán）風空調箱通過送風管，再經過ULPA過濾器或HEPA過濾器，將空氣送入潔淨室，在潔淨度等級為10級和1級的潔淨間的（de）吊（diào）頂上，這些過濾器通常是100%覆蓋。垂直單向氣流向下通過潔淨間，穿過帶孔的架空地板（bǎn）磚進入地板下（xià）麵的回風空間，再通過垂直回風夾道向上進入吊頂回風靜壓箱。然後 ，空氣再次進入循環風空調箱（xiāng），以上的（de）空（kōng）氣（qì）循環（huán）再次重複。如（rú）果是使用吊頂風機過濾器，在風機過濾器上麵的吊頂空間時，可以安裝水或直接交換冷卻[DX-cooled]風機盤管（guǎn）實現表麵冷卻。
5、空氣壓差。花費因素變量：-0.041至0.08
潔淨室（shì）增壓是（shì）必（bì）須的，它的作用是確保潔淨室遠離其臨近區域的汙染，控製（zhì）有害汙染物（wù）的流向，防（fáng）止不同區域間的交叉汙染，並幫助保持所要（yào）求的溫度和濕度水平。潔淨室與相關走廊、設施內的其他區（qū）域的壓差應維持在0.25到0.005英（yīng）寸水柱（zhù）（in.w.g.）之間。一般製藥企業所要求的（de）壓差值比這更高，在不同區域之（zhī）間采用層疊壓差來避免交叉汙染。在不同的區域間安裝一係列的層疊式氣閘和允許空氣（qì）快速擴散的正壓門，從而產生壓差。好的微電子潔淨室設（shè）計中，通常在潔淨室的（de）入口安（ān）裝一個半密封的氣閘（zhá）來使（shǐ）壓差保持（chí）在0.02到0。005in.w.g.之間。更衣間和穿衣間用氣閘分離。入口入的機械風（fēng）淋（lín）相對於它的必（bì）要（yào）性而言，更是設施（shī）文化和潔淨室的原則（zé）問題。許多微電子和光刻潔淨室成功地采用被動氣壓控製，隻（zhī）有（yǒu）在（zài）大門全部打（dǎ）開的情況下，入口處的風量維持在每（měi）分鍾50到100英尺。一些生物製藥企業要求主動壓差控製（zhì），采用補充（chōng）新風的方式，自動（dòng）補（bǔ）足通（tōng）過門泄漏的空氣（當門打開時）。
壓差臨測器用來完成（chéng）這個任務。監視器可能被安（ān）裝在潔淨室外麵，而在潔淨室內有一個LED的（de）顯示器，該顯示器帶有一個聲音報警裝（zhuāng）置和兩個指示（shì）器，可（kě）以表示氣壓的正常（cháng）與否。這（zhè）種設（shè）備在生物製藥潔淨室中有生物限製要求的（de）區域內通（tōng）常用來測負壓值，而在電子類潔淨室內，通常用來檢測負壓（yā）值，而在電子類潔淨室內，通常用來檢測正壓值。它帶有數字壓差顯示器，顯（xiǎn）示的度是0.001 in.w.c.,測量壓力值或真空（kōng）度的範圍是0.5 in.w.c。壓差通過閃亮LED和自動（dòng）報警裝（zhuāng）置來表示。當打開大（dà）門時，設備內部有一個可調整的延遲報警時間，用來避免啟動聲音報警（jǐng）裝置。
6、溫度控製。花費因素變量：-0.0321至 0.15
溫度和濕（shī）度的變化（huà）能夠引起生產設備的誤差，從而影響生產過程的可重複（fù）性（xìng），zui終導致產品合格（gé）率降（jiàng）低、增加浪費。因此，潔（jié）淨室對（duì）溫度嚴格控製要求是顯而易見的，這項花費是必須的（de）。通常情況下（xià），要求工程師在設計時降（jiàng）低施工費用，同時要求在很（hěn）大區域內對溫度進行的控製，允許的（de）溫度變（biàn）化範圍在±4到6華（huá）氏度之間（例如使用卷簾門的倉庫）。在沒有硬牆和氣閘裝置時，這將是十分苛刻的要求，並且實際上無法控製濕（shī）度的變化。人們通常認為潔（jié）淨室外的潔淨度、溫度、濕（shī）度和氣壓等項目的層疊性是非常容（róng）易達到的，並且很容易維持，但需要仔細的評估這些項目的誤差範圍。如果對潔淨室內的暖通、動力（lì）專業裝置和控製（zhì）係統有嚴格要求，例如潔淨室的溫度控製要求為正負0.1華氏（shì）度所用花費，可（kě）能比基準（zhǔn）點為70華氏度，±2.0度（即標準要求68到72華氏度）的高出（chū）20%到50%。在每個潔淨室區域內，有局部自動調溫器來控製設計溫（wēn）度。它能（néng）驅動（dòng）安裝在風管上的（de）局（jú）部再熱或再（zài）冷盤管工作，來滿足房（fáng）間內（nèi）的濕熱的要（yào）求。如果使用風機（jī）盤管裝置（zhì），局部自動調溫器控製本（běn）區域（yù）內盤管出口（kǒu）空氣的溫度。
7、溫度控製。花（huā）費因（yīn）素（sù）變量：-0.034至0.19
每個潔淨室內的相對濕度，通過局部濕度（dù）調節器來進行控（kòng）製。如果窨內的相對濕度較高（gāo），恒濕器通（tōng）過降低冷凍盤管流出空氣的溫度（dù）來加強除（chú）濕。同時，再熱盤管提供熱量來保持窨的溫（wēn）度。任何一個潔淨間的相對濕度（dù）超出了設計範圍，局（jú）部恒濕器將啟動安（ān）裝在風管上的局部濕度調（diào）節器。當必須滿足的濕度控製時，通（tōng）常利用空調箱中的新風的絕熱增（zēng）濕效果來實現（xiàn），並通過潔淨室的結露點來（lái）維持。
濕度水平的局部變動可以通過超（chāo）聲波濕度調節器進行控製，該調節器位於zui終過濾前的風管靜壓（yā）箱內。用水水質為RO/DI，水電陰（yīn）率在3到（dào）5mgm之間。如果相對濕度低於設計範圍，恒濕器將啟動濕度調節器來增加新（xīn）風的水分含量。如果相對濕度較高（gāo），恒濕器將降低新風控製冷凍盤管流出空氣的露點溫度，從而加強除濕效果。
8、排風係統。花費因素變量：-0.031至0.16
典型的工藝排風係統包括：酸、溶劑和（hé）VOC、毒性物質、熱和一般的房（fáng）間排風。如果廢氣（qì）中有氨氣出現，一些廠家會選擇使用分（fèn）開的風管係統和處理係統。使用zui多、zui普遍的酸消除（chú）方法，是水（shuǐ）平或垂直氣體（tǐ）洗滌塔。溶劑（jì）和VOC的去除通（tōng）常運用就地或當場高溫破壞（huài）的方法。需要認真選擇支隊的方式及必（bì）須支隊的（de）廢氣（qì）流（liú）量。
的空氣處理（lǐ）設（shè）備能夠將廢氣量降至zui低，因（yīn）此，在實施過程中可降低工程費用和能源浪費。保持排風量增加（jiā）的潛在需求、擴大生產和安裝這些備用品（pǐn）所需的（de）經濟價值之間的平衡是十（shí）分重要（yào）的。通常情（qíng）況下，考慮到潔淨室將來的擴展，當其它動力設（shè）備和暖通、動力專業係統（tǒng）（例如新風和冷卻）不能滿（mǎn）足這種擴充的需求時，超（chāo）大的昂貴的、不鏽鋼（gāng）襯裏的（de）或FRP排（pái）風係統就已經建立了。沒有考慮將來的需求而建立的酸排隊係統也是十分普遍（biàn）的。增加風量和新的風管支管，，就會使風管係（xì）統中的風速超過每分鍾4000英尺。這樣的係統保持平衡是十分困難的或不可能的，並（bìng）且運行的費（fèi）用昂貴。
9、振動和噪聲控製。花費因素變量：-0.027至0.10
設（shè）備的大小和重量影響振動的傳（chuán）播及控製。潔淨室地板下麵的“華夫（waffle）”混凝土板層，能夠很好地避免將設備的振動傳送到其他生產區域或（huò）度量衡工具上。即使為了安裝（zhuāng）管道而在潔淨室的（de）地麵上鑽洞，Waffle混凝土板（bǎn）層仍能保持其風性。因為地板的強度在於它的柵格係統，並可進行重（chóng）新整理。因此可在地板上（shàng）衝壓額外的孔洞，而不會對振動（dòng）因素有任何副作用。
所有（yǒu）的暖通、動力專業設備應使（shǐ）用（yòng）彈簧、軟件接和隔離安裝等隔絕振動的方式（shì），將振（zhèn）動效應降到zui低。低噪音的節能風機和馬達，可以用來維持潔淨室（shì）NC水平。振動和噪聲方麵的（de）專家應是評估小組的成（chéng）員，他們來用於（yú）振動和噪聲方麵的專家應是評（píng）估小組的成（chéng）員，他們（men）來核實用於振動和（hé）噪聲控（kòng）製中的機械和建（jiàn）築學（xué）原理（lǐ）。完工後的（de）再處理可能是十（shí）分（fèn）昂（áng）貴的。如果建築（zhù）師、暖通、動力專業工程（chéng）師（shī）、業主（zhǔ）和顧問從（cóng）設計的開始就考慮這些因素，可以免（miǎn）去許多潛在的昂貴的檢測，或用更經濟的辦法取代。
10、磁通量和電磁通量。花費（fèi）因素變量：0.037至（zhì）0.15
磁通量被（bèi）認為是銀河係（xì）中海洋微粒背景的流量。銀河係的放置也被認為是自然界的電磁（cí）循環。“通（tōng）量”這（zhè）個詞（cí）代表流量（liàng），我們可以（yǐ）認為磁力線就象某種液體流動的路線那樣穿過一個假想的表麵。磁場的大小代（dài）表流動的速度，它的方向就是流動的方向。磁通量就是流過這個表麵的所有的容量。為了更好地（dì）理解，我們可以認為（wéi）磁通量（liàng）就是穿過這個表麵（miàn）的（de）磁力線的數量。對於給定的速度，當（dāng）微粒移動的方（fāng）向垂直於磁場方向時，磁力是zui大的，當與磁場方向平等運動時，磁場力為零。在大多數基（jī）本水平，移動電荷之間的相互作（zuò）用產生磁力，就象靜電產生於導電電荷與其（qí）他導電電（diàn）荷（不（bú）論（lùn）他們是否運（yùn）動）之（zhī）間的（de）相互作用。
通過對行星的拍照研究表明，由於地球的放置（zhì）和它（tā）熔（róng）化的金屬（shǔ）內核使得它有一個強大的磁（cí）場。磁通量的密度（替代“牛頓的每安培米”）有它自（zì）己的單位（wèi）---特斯拉。地球表（biǎo）麵的磁場近似代表值是二分之一（yī）高斯，大約是200,000特斯拉。在對公眾開放的（de）區域內，職業安全和（hé）健康要求（qiú）磁（cí）場強度不（bú）能大於5個高（gāo）斯。
潔淨室的磁場防護是十分昂貴（guì）的。例如，潔淨室使用4到5毫米厚的磁性（鐵--矽（guī））鋼板（M15型）作為（wéi）屏蔽材料（liào）仍不能（néng）滿足要求（qiú）。當（dāng）前的半導體、度量衡和通訊實驗室區域內要求磁（cí）通量的強度限製在0.05高（gāo）斯（sī）或更低（dī）。
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