潔（jié）淨度達到要求須具備的條件

一、送風潔淨度（dù）
要（yào）保證送風潔淨度符合要求，關鍵是淨（jìng）化係統末級過（guò）濾器的（de）性能和安裝。淨化係統末級過濾器一般采用過濾器或亞過濾器。按我國標準規定過濾器效率（lǜ）分四檔：A類為≥99.9%，B類為（wéi）≥99.9%，C類為≥99.999%，D類為(對≥0.1μm粒子)≥99.999%(亦稱超過濾器)；亞過濾器為(對≥0.5μm粒（lì）子（zǐ）)95~99.9%。效率越高，過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應本著既要滿足送（sòng）風潔淨度要求，又要考慮經濟合理。從潔淨度要求考慮，以低級別潔淨室選用低性能過濾器、別潔淨室選用高性能（néng）過濾器為原則。一般說來：100萬級可選用（yòng）高中效（xiào）過濾器；低於1萬級可（kě）選（xuǎn）用（yòng）亞或A類過濾器；1萬~100級選用B類過濾器；100~1級（jí）選用C類過濾器。這裏每個潔淨度級別似乎都（dōu）有（yǒu）兩類（lèi）過濾器可供選擇，選擇高性能的還（hái）是低性能的，要視具體情況而（ér）定：當環境汙染嚴重，或室內排（pái）風（fēng）比例很大，或該潔淨室特別（bié）重要（yào），需要較大安全係數，在這些（xiē）或其中之一（yī）情況下，均要選擇高一類過（guò）濾器；反之可選擇較低性（xìng）能過濾器。對0.1μm粒子要求控製的潔（jié）淨室，不論控製（zhì）的（de）粒子濃度高低均要（yào）選（xuǎn）擇D類過濾器。以上所述僅從過濾器角度出發，實際上要選擇好過濾器還要全麵考慮潔淨室特性、過濾器特性和淨化係統特性。
要保證（zhèng）送風潔淨度，僅（jǐn）有合格的（de）過濾器是不夠的，還要保證：a.運輸、安裝過程不損壞過濾器；b.安裝嚴密。要做到第a，則要求施工安裝（zhuāng）人員訓練有（yǒu）素，既要有安裝淨化係統方麵的知識，又（yòu）要具備較（jiào）熟練的安裝技（jì）能，否則（zé）將難以保證不損壞過濾器。其次，安裝嚴密性問題，主要取決於安裝（zhuāng）結構型式優劣（liè），設計手冊（cè）一般推薦：對於單個過濾器采用明（míng）裝（zhuāng）型式（shì），這樣即便發生滲漏，也（yě）不致漏到室（shì）內；用成（chéng）品送風口，嚴密（mì）性也比較容易得到保證。
二（èr）、氣流組織
潔淨室的氣流組（zǔ）織與一般空調（diào）房間有所不同，它要求將zui幹（gàn）淨（jìng）的空氣首先送到操作部位，它的作用在於限製和減少對加工物（wù）的汙染（rǎn）。為此，在設計氣流組織時應考慮這些原則（zé）：盡量減少渦流，避免（miǎn）將（jiāng）工作區以外的汙染帶入工作區；盡（jìn）量防止灰塵（chén）的二（èr）次飛揚（yáng）以減（jiǎn）少灰塵對工件的汙染機會；工作區的氣流要盡量均勻，且其風速要（yào）滿足工藝（yì）和衛生（shēng）要求（qiú），當氣流向回風口流動時（shí）要使空（kōng）氣中的灰塵能有效的帶走。根據不同的潔淨度要求，選擇不同的送、回風方式。
不同的氣（qì）流組織，各有其特點和（hé）範圍：
（1）垂直單向流：均可（kě）獲得均勻（yún）向下氣流，便於工藝設備布置，自淨能力（lì）強，可簡化（huà）人身淨化設施等共同設施等共同優點外，四種送（sòng）風方式還（hái）有其各自優缺（quē）點：滿布過濾器具有阻力低（dī）、更換（huàn）過濾器周期長等優點，但頂棚結構複雜，造價高；側布過濾器頂送、全孔板頂送與滿布過濾器頂送的（de）優缺點相（xiàng）反，其中全孔板頂送在係統非連續運行時，孔板內（nèi）表麵易積塵（chén），維護不好，對潔淨度有些影響；密集散流器（qì）頂（dǐng）送，因需要一（yī）段混和層，所以隻適用於4m以上高大潔淨室，其特點與全孔板頂（dǐng）送相（xiàng）仿；對於相對兩側格柵的板和相對兩側牆下部均勻布置（zhì）回風口的回風方式僅適用兩側淨間距小於6m的（de）潔淨室；單側牆下部布回風口僅（jǐn）適（shì）用對牆間距較小(如≤<2~3m)的潔淨室。
（2）水平單向流：隻在*工作區達到100級潔淨度，當空氣流（liú）向另一側的過程中含塵濃（nóng）度（dù）逐漸升高，所以僅適用於同一房（fáng）間工藝過程有不同潔淨度要求的潔淨室（shì）；送風（fēng）牆局部布過濾（lǜ）器較滿布水平送可（kě）減少過濾器用量，節約初投（tóu）資，但局部（bù）區域有渦流。
（3）亂流型氣流：孔板（bǎn）頂送和密集散流器頂（dǐng）送的特點與（yǔ）前述相同：側送的優點易於管道布置，無（wú）需技術夾層，造價低，有（yǒu）利於舊廠房改（gǎi）造（zào），缺點是（shì）工作區風速（sù）較大，下風側比上風側含塵濃度高；過濾器風口頂送（sòng）具有係統簡單、過濾器後無管道、潔（jié）淨氣流直接送達工作區（qū）等優點，但潔（jié）淨氣流擴散（sàn）緩慢，工作（zuò）區氣流較均勻；不過當均（jun1）勻地布置（zhì）多個風口或采用帶擴散板（bǎn）地（dì）過濾器風口時，也可使得工作區氣流較均勻；但在係統非連續運行地情況下，擴散（sàn）板易積塵。
以上論述均屬於較理想狀態，也是國（guó）家有關規範、標準或設計手（shǒu）冊所推薦。實（shí）際工程中或（huò）受限於客觀條件，或由於設計者地主觀原因而未設計好氣流組織，常見的有：垂直單向流采取相鄰兩側牆下部回風，局部百級采用上送上回(即局部送（sòng）風口下（xià）未加下垂圍簾)，亂流型潔淨室采用過濾器風（fēng）口頂送（sòng）上回或單側下（xià）回(對牆間距較大)等（děng），這些氣流組織方式經實測，其潔淨度大多數都達不到設計（jì）要求。由於現（xiàn）行規範規定空（kōng）態或靜態驗收，個別的這類潔淨室在空態或靜態下勉強達到設計的（de）潔（jié）淨度級別，但抗汙（wū）染幹擾能力很低，一旦（dàn）潔淨室進入（rù）工作狀（zhuàng）態就達不到要求。正確的氣流組（zǔ）織局部區域應設圍簾下垂至工作區高度，10萬級也不應采用（yòng）上送上回。還有目前大多數（shù）工廠生產的帶擴散（sàn）板（bǎn）的送風口，其（qí）擴散板（bǎn）都隻是裝飾性孔板而不起擴散氣流作用。
三、送風量或風速
足（zú）夠的通（tōng）風（fēng）換氣量是為了稀釋和排除室內汙染空氣，根據不同的潔淨度要求，當潔（jié）淨室淨高較高（gāo）時，適當增加換氣次數。其中，100萬級潔淨室的通風量是按高中效淨化係統考慮，其餘（yú）均按淨化係統考（kǎo）慮；當10萬級潔淨室過濾器集中布置在機房或係統末端（duān）采用亞（yà）過濾器時，可適當提高換氣次數10-20%。
對於上述通風（fēng）量（liàng）推薦數值認為：單向流潔淨室（shì）通過房間截麵（miàn）風速偏低，亂流型潔淨室是有較充分安全係（xì）數的（de）推（tuī）薦值。垂直單向（xiàng）流≥0.25m/s，水平單向流≥0.35m/s，在空（kōng）態（tài）或靜態下檢測潔淨度，雖然能達到要求，但抗汙染能力較差，一旦室內進入工作狀態，潔淨度就可能達不到要求，這類實例（lì）已不屬於個別；同時，我國通風機係列中尚未有較適合（hé）淨化係統用的風機，一般設計者又往（wǎng）往對係統空氣阻力（lì）未作（zuò）準確計算，或未注意到所選用（yòng）的風機（jī）是否處於特（tè）性曲線上比較有利的工作點，使得係統（tǒng）在投（tóu）入運行後不久，風量或風速就達不到（dào）設計（jì）值。美國聯邦標準(FS209A~B)在1987年10月27日（rì）之（zhī）前一直這樣規定：單向流潔淨室通過潔淨（jìng）室截麵的（de）氣流速度通常保持在9Oft/min(0.45m/s)，在整個房間無幹擾的條件下，其速度不均（jun1）勻度在士20%以內，氣流速度任何（hé）明顯的下降都會增加自淨時間和工作位置之間（jiān）汙染影響的可能性(1987年10月FS209C頒布之後對含塵濃（nóng）度以外的所有參數指標均（jun1）未作規定)。為此，適當提高目前國內對單向流速度的（de）設計值（zhí），效果還是比較好的。亂流型潔淨（jìng）室是有較充分安全係數的推薦（jiàn）值，但（dàn）許多設計者仍不放心，在做（zuò）具體設計時（shí）將10萬級潔淨室通風量加大到20~25次/h，1萬級加大（dà）到30~40次/h，1000級加大到60~70次/h，這樣做不僅加大了（le）設備容量（liàng）、加大了（le）初投資，也增加了日後維護管理（lǐ）費用，實際上也沒有必要這樣做。在（zài）編製（zhì）我國空（kōng）氣（qì）潔淨技（jì）術措施[7]時曾調查測定了國（guó）內100多個潔淨室，許多潔淨室還是在動（dòng）態下檢測的，結果表（biǎo）明：10萬級≥10次/h、1萬≥20次/h、1000級≥50次/h通風量即可滿足要求。美國聯邦標準(FS2O9A~B)規定:非單向流潔淨室(10萬級、1萬級)，室高8~l2ft(2.44~3.66m)，通常考（kǎo）慮全室至少每3分鍾換氣一次(即20次/h)。因此，設計規範的規定（dìng）已經考慮了較大的（de）富裕係數，設計（jì）者*可以放心地按照通風量推薦值選用。
四、靜壓差
潔淨室維（wéi）持一定的（de）正壓是保證潔淨室不（bú）受或（huò）少受汙染、以維持設（shè）計潔淨度等級*地條件之一。即便是負壓潔淨室，它也必須有不低於它潔淨度級別（bié）地相鄰房（fáng）間或套間維持一定地（dì）正壓，負壓潔淨室的潔淨度才能得以維持。
潔淨室正壓值是指門窗全（quán）部關閉狀態下，室（shì）內（nèi）靜壓大於（yú）室外靜壓的數值。它是通過淨化係統送（sòng）風量大於回風量和排風量的方法來達到。為了保證潔淨室正壓值，送（sòng）風、回風和（hé）排風機聯鎖（suǒ），係統開啟時（shí）先啟動送風機，再啟動（dòng）回（huí）風機和排風機;係統（tǒng）關閉時先關排風機，再關回風機和送（sòng）風（fēng）機，以防止潔淨室在係統開啟和關閉時（shí）受到汙染。
維持潔淨（jìng）室正（zhèng）壓所需的風量（liàng）主（zhǔ）要根據維護結構密閉性好壞來確定。我國潔淨室建設初期由（yóu）於圍護結構密（mì）閉性較差，要維持≥5Pa的正（zhèng）壓就要2~6次（cì）/h送風量；目前維護（hù）結構密閉（bì）性（xìng）已大為提高，維持同樣的正壓隻要1~2次/h送（sòng）風量;維（wéi）持≥1OPa也（yě）隻要2~3次/h送風量。
我國設計規範（fàn）規定：不同等級的潔淨室以及（jí）潔淨區和非潔淨區之間的靜壓（yā）差應不小於（yú）0.5mmH2O(~5Pa)，潔淨區與室外的靜（jìng）壓差應不小於1.OmmH2O(~l0Pa)。該值似偏低，原因有三（sān）：1.正壓是表示潔淨室抑製通過門窗（chuāng）縫隙汙染室內空氣的能力，或在短時間打開門窗時使滲入室內的（de）汙染物減少（shǎo）到zui低限（xiàn）度的能（néng）力，正（zhèng）壓大小表示抑製汙染能力的強弱，當然不是正壓越大越好(後麵將談到)。2.正壓所需的風量有限，5Pa正壓與（yǔ）10Pa正壓所（suǒ）需風量僅差約1次/h，何樂而不為呢?顯然正壓值低限取l0Pa更*些（xiē）。3.美國聯邦標準(FS209A~B)規定；當所有出入口關閉時，潔（jié）淨室與任何相鄰的低潔淨度區域之間的zui低正壓差為0.05英寸水柱(12.5Pa)，這數（shù）值（zhí）已被許（xǔ）多國家采用。但潔淨（jìng）室的正壓（yā）值並（bìng）非越大越好（hǎo），根據實際工程檢測表明：當正壓值（zhí）≥30Pa時，開門就比較困難，當正壓值≥50~70Pa時（shí），門窗縫隙就會發出哨音（yīn），體（tǐ）弱者或有某種不適應症（zhèng）者不適感覺。可是國內和國外許多（duō）國家的有關規範或標準均未規定正壓（yā）的上限（xiàn）值，這樣（yàng）的結果許多單位都（dōu）隻求下限值滿足要求，而不管上限值達到多少，在筆者遇（yù）到的實（shí）際潔淨室中正壓值有高達100Pa以上，造（zào）成很不好的效果。實（shí）際上調整（zhěng）正壓並不是一件很難的事，把它控製（zhì）在一定範圍內是*可能的。