FFU的特點及（jí）性能參數

FFU（Fan Filter Unit）是風機和過濾器的組合，也可稱（chēng）為“自帶風機（jī）的過濾設備”。FFU通常安裝在潔淨室（shì）的送風末端（duān），一般放置在吊裝的幹式墊片（piàn）密封（fēng）龍骨框架上。FFU上麵部分為風機模（mó）塊，下麵部分為過濾器。根據潔淨度的要求，過濾器（qì）可為不同等級的（HEPA）或超（chāo）（ULPA）過濾器，為潔淨室提供潔淨空氣。風機模塊除了要克（kè）服FFU下部過濾器的阻力，還要克服整個循（xún）環風所有通道（dào）部件的阻力，從而維持設（shè）定的運行風速。FFU係統具有設（shè）計施工簡便，風速調節靈活，潔淨區易於變更等特點，因此已成（chéng）為工業潔淨室的流行係統形式之一。
FFU的特點：
1、靈活性。因為（wéi）FFU是自帶動力的，它不受區域的限製。在一個偌大的潔淨廠房裏可根據需要，分區控製。而（ér）且，隨著半導體生（shēng）產工藝的變化，廠（chǎng）房布局必然要作相應的調（diào）整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕鬆，而且不會帶來二次投資。
2、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，留（liú）待下次使用。
3、負壓通風。這是FFU的*特點。由於它本身能（néng）夠提供靜壓，使得送風靜壓箱（xiāng）相對（duì）於潔淨廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒（lì）就不會受到壓力（lì）的作用泄漏到潔淨區內（nèi），使得密（mì）封變得很簡單而且安全。
4、縮短建設周期。使用FFU省掉了風箱的製（zhì）作和安裝，因為風管在潔淨工程中，占（zhàn）掉很（hěn）大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收（shōu）益，選用（yòng）FFU成為了一種可能。
5、減少運行成本。雖然在選用FFU時（shí），初期投資要比使用風（fēng）管（guǎn）通（tōng）風高（gāo），但在它後期運行中，突出的表現（xiàn）出（chū）節能、免維護等特點。用大（dà）循環減少40%的運行成本。
FFU組合（hé）的性能參數：
模數尺寸：安裝（zhuāng）吊頂龍骨中心線的間距，FFU常（cháng）用的標準模數尺寸為1200*600（4'*2'）、1200*900（4'*3'）、1200*1200（4'*4'）。
實際（jì）尺寸：FFU過濾器的實際尺寸=模塊尺寸（cùn）-（龍骨斷麵寬度（dù）-25mm），風機模塊的實際尺寸（cùn）比過（guò）濾器稍大4mm。比如說常用的圓頂龍骨端麵寬度（dù）為（wéi）55mm，模數（shù）尺寸為（wéi）1200，900，600所對應（yīng）的（de）FFU過濾器實際尺寸（cùn）1170，870，570，風機模塊的實際尺寸為1174，874，574。
機（jī）外餘（yú）壓：在某一（yī）設定風速下，風機模塊的總靜壓下（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機外餘壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔淨室循環風阻力的能力，無論是標注FFU機外餘壓或風機模塊的總靜壓TSP，都必須（xū）指明送風風速或風量，否則沒有意（yì）義。
輸入（rù）能耗：FFU正常運轉時輸入電壓或輸（shū）入電流（liú）的乘積，單位是W。顯然，FFU在不同的運行工況點，即在不（bú）同的運行（háng）風量和（hé）總靜壓時，輸入能耗不同。因此，如果（guǒ）不指名運行工況點，輸入能耗值沒有意義。
單位噪音：根據標準IES-RP-CC002，FFU正常運轉時在距離（lí）出風麵中心正下方1.2m處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同（tóng）的運行工況點，即（jí）在不同的運行風量和總靜（jìng）壓時，噪音不同。因此，如果不指（zhǐ）明運行工況點，噪音值（zhí）沒有意義。
微（wēi）振：根據標準IES-RP-CC002，FFU在大運轉工況（kuàng）點時的振動幅（fú）度和振動速率，單位分別是（shì）mm和mm/s。
送風均勻度：根據標（biāo）準IES-RP-CC002，FFU正常運轉時（shí），在距離出風麵下方150mm(6'')的水平麵上測量逐點的風速，得（dé）出平均風（fēng）速值。平均風速與大風速和小風速的偏（piān）差比即為送風均勻度，單位（wèi）為+/-%。標準IES-RP-CC002中要（yào）求（qiú）FFU的任一（yī）點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器效率等（děng）級：依據歐洲標準EN1822，過濾器等級（jí）從（cóng）H10-H14，U15-U17，或依據美國標準MIL-282(HEPA)對於0.3um的效率值；依據美國標準IES-RP-CC007.1，對於0.12um的效率值。