潔淨室的技術要素及分類

潔淨室四大技（jì）術要素：
從潔淨室的建（jiàn）造、使用和（hé）維護而言，潔淨室有四大技術要素：
A、潔淨室的淨化空調（diào）係統至少應有粗效、中效和過濾器三級過濾措施（shī）。尤其是在終端應有過濾器（HEPA）或超過濾器（ULPA）。
B、潔淨室送風應有足夠的空調（消除室內餘熱、餘濕（shī））和淨化（保持潔淨度）送風量。其送風量不（bú）僅能消除室內的餘熱和餘濕，保證室內的溫度和（hé）相（xiàng）對濕度，同時還能消除或稀釋（shì）室內的粒（lì）子汙染，保證室內的潔淨度要求。
C、潔淨室必須建立和維持（chí）必要的相對（duì）壓差（正壓或（huò）負壓）。
D、潔淨室應有合理的氣流流型，以保（bǎo）證其室內的潔淨度和溫、濕度等（děng）參數。
潔淨室的（de）分類：
潔（jié）淨（jìng）室的分類一般按氣流流型來分（fèn），還可按使用用途和主要控製對象來分。
A、潔淨室按氣流流型分類
潔淨室按氣流流（liú）型來分類可分為單向流（liú）潔（jié）淨室、非單向流潔淨室、混合流潔淨室和矢流潔淨（jìng）室。
a、單向流潔淨室
單向流（liú）潔淨室的淨化原理（lǐ）是活塞（sāi）擠（jǐ）壓原（yuán）理，是潔淨氣流將室內產生的粒子由一端（duān）向另一端以活塞型（xíng）式擠壓出去，用潔淨氣流充滿潔淨室。單向流潔淨室又可（kě）分為垂直單向流潔淨室和水平單向流潔淨室。
①垂直單向流潔淨室是在其吊（diào）頂上滿布（≥80%）空氣過濾器（或FFU），經其過濾的潔淨氣流從吊頂用活（huó）塞型式以一定的速度，把室內的（de）汙染粒子向地麵擠（jǐ）壓，被擠（jǐ）壓的汙（wū）染空氣通過地板格柵排出潔（jié）淨室，這樣不斷地進行循（xún）環運（yùn）行來實現潔淨室（shì）的高潔淨度。垂直單向流潔淨室可創造高的潔淨度（1級~5級）但是，它的初投資高、運行費高。
②水平單向流潔淨室是在其一麵牆上滿布（≥80%）空氣過濾器，被（bèi）其過濾的潔淨（jìng）空氣以一定的速（sù）度用活塞型式將（jiāng）汙染粒子擠壓到（dào）對麵的回風牆，由回風牆排出潔（jié）淨（jìng）室，這樣不斷循環來實現高的潔淨度等級。水（shuǐ）平單向流可創造5級的潔淨度等級。其初投資與運行（háng）費用也低於垂直（zhí）單向流潔淨（jìng）室。水平單向流潔淨（jìng）室（shì）與垂（chuí）直單向流潔淨室比較，其大的（de）區別是垂直單向流氣流是由（yóu）吊頂天花流向地麵，所有工作麵（miàn）全部被潔淨的氣流覆蓋。而水平單向流潔淨室的氣流是由送風牆流向回風牆，因此，氣流（liú）在工作麵潔淨度高，後麵的工作麵的潔淨度（dù）會越（yuè）來越差。
b、非（fēi）單向流潔淨室
非單（dān）向流潔淨室的（de）淨化原理是稀釋原理（lǐ）。是用（yòng）一定量的潔（jié）淨空氣（qì）來充淡稀釋室內產生的汙染（rǎn）粒子。潔淨空氣量越多稀釋後的潔淨度就越高。因此潔淨的送風（fēng）量（換氣次數）不（bú）同，室（shì）內空氣（qì）的（de）潔淨度等（děng）級也不相同。在“規範”中規定：6級潔淨室的換氣次數為50~60次/時；7級潔（jié）淨室的（de）換氣（qì）次數（shù）為15~25次/時；8級和9級（jí）潔淨室的換氣次數（shù）為10~15次/時。潔淨度級別不同其初投資（zī）和運行費也（yě）不相同。常用的非（fēi）單（dān）向流潔淨（jìng）室的（de）氣（qì）流流（liú）型主要（yào）有頂送下回、頂送（sòng）下側回和頂送頂回。
c、混合流潔淨室
混合（hé）流潔淨室是將垂直單向流和非單向流兩種型式的氣流（liú）組合在一個潔淨室中。混合流潔淨（jìng）室可大大壓縮垂直單向流的（de）麵積，隻將其應用在必要的關鍵工序和關鍵部位中，用大麵積的非單向流來替代垂直單（dān）向流。這樣不僅大大地節省建（jiàn）造（zào）投資而且也大大地節省了運（yùn）行（háng）費用。這種混合流潔淨室目前廣泛（fàn）地應用在（zài）微電子（超大（dà）規模集（jí）成電路）的光電子（液晶顯示器LCD、等離子PDP、發光二極管（guǎn）LED和薄膜晶體管有源矩陣液晶顯示器TFT-LCD）等大（dà）麵積高潔淨度等（děng）級的電子工業（yè）潔淨廠房中。
d、矢流潔（jié）淨室
矢流潔淨（jìng）室是用圓弧形空氣過濾器構成的圓弧形送（sòng）風裝置，經圓弧形過濾器送出的氣流是放射形的潔淨（jìng）氣流，流線不產生交叉，灰塵粒子也是被放射形氣流帶到回風口，回風口設在對麵牆的下側。矢流潔淨室可用較少量的潔淨送風來實現較高潔淨度級別（5級）的潔淨室。這種（zhǒng）氣流（liú）流型在美國和日本較多（在日本稱（chēng）為對角流），而我國在工程中應用較少。
B、潔淨室按（àn）用途和主要控製對象分（fèn）類
按使用用途和主要控製對象潔（jié）淨室又可（kě）分為工業潔淨室、生物潔淨（jìng）室和（hé）生物安全實驗室。
a、工業潔淨室
工業潔淨室的主要控製對象是灰塵粒子。它廣泛應用於電子工業、光電子工業、機械（xiè）化工工業、光學（xué）工業、航（háng）天事業等。在電子工業中微電子（集（jí）成電路）工業對潔淨室的（de）潔淨（jìng）度級別要（yào）求高。而且，隨著微電子技術的不斷發（fā）展，集成度的不斷提高，光刻線寬的不斷（duàn）變小對潔淨室潔淨度等級的要求也越來越（yuè）高。根據半導體工業協會（SIA）對（duì）未來集成電（diàn）路（lù）發展趨（qū）勢，以及對潔淨生產環境中塵粒控製的趨勢預測可以看到（dào）微電子工業對潔淨室潔淨度的要求。
b、生物潔淨室
生物（wù）潔（jié）淨室主要的控製對象是微生物（wù）、病菌等活的有生命的粒子，是不斷地生長、繁殖的粒子。它所產生的汙染不僅僅是微生物本身，而（ér）且，還有新（xīn）陳代謝產生的二次（cì）汙染。生物潔淨室主要應（yīng）用（yòng）在醫療、製藥、食品、生物工程、實驗動物飼養以及（jí）生物安全等行業之中。
c、生物安全（quán）實驗室
生物安全實驗室是研究對人、動（dòng）物、環境等有害（hài）感染性的微生物、病菌、病毒等的特殊環境條件。因此，生物（wù）安全實驗室，必須作到安全，不僅要保護實驗研究對象，使實驗得到真實可靠的實驗（yàn）數據和結果，而更重要的是保護實驗操作人員和周（zhōu）圍的環境（jìng），使實驗（yàn）人（rén）員（yuán）和周圍環境都能得到可靠的安全保障。根據世界衛生組織（WHO）的標準，可將感染微生物的危險度等級依它（tā）們的（de）危險程度不同劃分為4個不同（tóng）的級別。而且不同危（wēi）險度等級（jí）的生物安全實驗室也要有相（xiàng）對應的生物安全水平。