潔淨廠房（fáng）施工--特種設施的安裝

（一）一般規定
1、特種設施（shī）的安裝施工，應符合（hé）下列規定：
（1）相關的土建工程己驗收合（hé）格，並（bìng）辦理交接手續。
（2）應按工程設計文件和相關設備出廠技（jì）術說明要求進行安裝。
（3）各種設備及其附件（jiàn）、材料（包括填充材料）已進行現場檢查（chá）、檢驗，並應符合工程設計和設備（bèi）技術要求。認真並進行進場記錄。
2、對氣密性、滲漏性控製（zhì）嚴格的特種設施的設備、附件等，安裝前應嚴格檢查密封狀況，若發現異常（cháng），應與（yǔ）供貨商（shāng）共同檢查，經（jīng）確認不影響使用（yòng）功能（néng）後才（cái）能進行安裝。
3、對（duì）特（tè）種設施的承壓設備、附件，應具有（yǒu）壓力試驗、無（wú）損探（tàn）傷等有效檢驗合（hé）格文件。無合格（gé）文件者，不（bú）得進（jìn）行安裝。
4、有爆炸危險或有毒（dú）的氣體、液（yè）體、有機溶劑（jì）等相關的設備、附件，應具有有效檢（jiǎn）驗的合（hé）格文件，不符合規定者不得進行安裝。
5、分類、分係統進（jìn）行安裝質量驗收，一般宜與（yǔ）供應係統的試運轉結合進行。
6、有防靜電（diàn）接地要求的設施，在安裝就位或係統管道安裝完成（chéng）後進（jìn）行可靠接地。
（二）高純氣、特種氣體供應設施的安裝（zhuāng）
1、管路係統的試運轉應包括管路（lù）吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度（dù）測試。
2、高純氣體（tǐ）、特種氣體供應設施（shī）安裝前，應按工程設計文件和產品說明書或（huò）合約的要求，檢查設備（包括填充的純化（huà）材料（liào）等）、閥門和管（guǎn）件的完整性、密（mì）封性，並作檢查記錄（lù）。
3、純化設備、特氣櫃的搬運、就位應（yīng）符合下列規定：
（1）搬入潔淨室（區）前，應進行（háng）認真（zhēn）的清潔，符合要求後從規定（dìng）的設備搬入口運入。
（2）整體設備搬（bān）運時，應（yīng）按設備的構造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，並可靠固定。
（3）設備就位時，應按工程設計文件和產品說明書要求，準確做好接管、接（jiē）線定位。
（4）就位後，水、電接口應按工程設計文件（jiàn）要求連接。
（5）氣體管道接口，應在（zài）分係統的氣體輸送管道安裝試運轉合格後才能連接。
4、高純氣體、特種氣體（tǐ）係統的閥門箱、吹（chuī）掃盤的安裝（zhuāng），應符合下列要求:
（1）檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完（wán）整性、密封性和合格證書等，並（bìng）作好（hǎo）記錄。
（2）安裝位置應按工程設計文件、產品說明（míng）書要求進（jìn）行，並檢查接管、接線方位的正確性。
（3）氣體管道接口，應在所（suǒ）在係統試（shì）運轉合格後才能連接。
5、高純氣（qì）體、特種氣體設施施工安裝試運轉的（de）純度測試，應符合下（xià）列要求：
（1）純度測試介質，宜采用工（gōng）作氣體進行。
（2）測（cè）試氣體的（de）壓力，宜與輸送介質的設計壓力相同。
（3）測試氣體的檢（jiǎn）測取樣口或排氣接口，應設在供氣係統中（zhōng）要求氣體（tǐ）純（chún）度（dù）及其雜質含量嚴格且距離長的用氣設備處（chù）。
（4）純度測（cè）試過（guò）程，取（qǔ）樣時間（jiān）的間隔宜為4h左右；氣（qì）體樣品應采用與輸送介質純度及允許雜質含量相（xiàng）應的精度等級的儀器進行分析。
（5）當測試氣體的進、出口的純度（dù）及（jí）其雜質含量（一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表）一致時，即認為純度測試合格。
6、管路係統的試驗應符（fú）合下列要求：
（1）高純氣體、特種（zhǒng）氣（qì）體供（gòng）應設施的強度（dù）試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及（jí）試驗壓力，均應按工程設計文件要求。
（2）試（shì）驗氣體宜采（cǎi）用無油幹燥壓縮空氣或純氮或氦氣；試驗氣體壓力按規定逐步（bù）升至係（xì）統強度試驗壓力後，保持10min，然後降壓至氣密性試（shì）驗（yàn）壓（yā）力，檢（jiǎn）查接口、焊縫是否（fǒu）泄漏（lòu），以不漏為合格。
（3）氣密性試驗合格（gé）後，進行（háng）泄漏量試（shì）驗，試驗氣體為純氮或無油幹燥壓縮空氣時（shí），係統以設計壓力保持24h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。采用氦氣為試驗氣體時（shí），係統以設（shè）計壓力保持1h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。若不合格，檢查原因並進行完善後，再進行泄漏量試驗，直至（zhì）合格為止。
（4）管路係（xì）統的（de）試（shì）驗，一般均（jun1）不包含純化設（shè）備、特氣櫃和閥門箱等。
7、管路吹掃應（yīng）符合下列要求：
（1）應按氣體品種、工作參數（shù）分係統分別進行吹掃。
（2）管路係統應采用0.3.0.5MPa的無油幹燥壓縮（suō）空（kōng）氣或純氮（dàn）進行吹掃，吹掃氣體應設置（zhì）過濾精度嚴於0.31tm氣體過濾器去除（chú）微粒；對輸送可（kě）燃（rán）氣體的管路宜（yí）采用純氮吹掃。
（3）在管路係統吹掃氣（qì）體排出口（kǒu）設（shè）靶檢查，以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路係統，應（yīng）以排出口吹掃氣體中含氧量小於1％為合格。
（三）純水供應設施的安裝
1、純水供應（yīng）設施（shī）安裝前，應按工程設（shè）計文件和產品說明（míng）書或合（hé）約的要求檢查、核對設備（包括填充的材料、元件等）、閥門和管件的完整性、密封（fēng）性，並作好檢查、核對記錄。
2、純水管道及其閥（fá）門、附件的材質（zhì），應按（àn）工程設計文（wén）件和產品生（shēng）產要求進行選擇。
3、單（dān）體設備的搬運、就位（wèi）應符合下列要求：
（1）搬入潔淨室（區）內的單體設（shè）備，應進行認真清潔後才能搬入。
（2）裝有填料或元件的單體設備，應按要求（qiú）的方向進行搬運、就位，不得倒置。
（3）單體設備就位時，應按工程設計（jì）文（wén）件和產品說明書要（yào）求，正確進行定位。
4、潔淨室（區）內純水（shuǐ）末端處理設備的安裝，應符合下列要（yào）求：
（1）純水管道接管，應在純水係統安裝後經試驗及試運轉合格後連接。
（2）接管、接線後，應按（àn）工程設計文件和產品說明書進行（háng）試運轉。
5、藥品和保健品（pǐn）等生產（chǎn）用純水係統的安裝，應符合下列要求：
（1）根據使用特點和（hé）工程設計文件要求，準確選擇（zé）管路材質、閥門（mén）、附件（jiàn），並不得對水質產生汙染和引起腐蝕或損傷。
6、管道係統（tǒng）的試（shì）驗、試運轉，應符合下列要求：
（1）管道係統的試驗應按工程設（shè）計（jì）文件要求進行水壓試驗。
（2）管道係（xì）統的試驗、試運轉，通常不包括末端（duān）處理裝置等。
（3）試驗合格後，以同等水質的純水進行清（qīng）洗，直至在管路末端無（wú）雜質、汙染物為合格。
（4）有特殊（shū）要求的純水係統，應按設（shè）計要求進行脫脂、清洗、鈍（dùn）化、合（hé）格（gé）後，並按規定進行（háng）消毒滅菌。
（5）純水水質試驗，以（yǐ）本係統同（tóng）樣水質的純水進行試驗，水質分析采樣（yàng）日應為水（shuǐ）質（zhì）要求（qiú）嚴格且距離長的（de）用戶（hù）末端處：取樣時（shí）間間隔為2-4h，以係統的始端、末端的（de）水質（zhì）相同為合格。
7、管道清洗應符合下列要求：
（1）管道清洗先以清潔水衝洗，末端檢查無雜物後，以同等水質的純（chún）水（shuǐ）清（qīng）洗。
（2）清洗時，應關斷所（suǒ）有接至單體（tǐ）設備的（de）閥（fá）門，管道係統的（de）過濾器濾（lǜ）芯應卸下，待清洗合格後原樣恢複。
（四）化（huà）學品供應設施（shī）的安裝
1、本節適用於潔淨廠房中工業產品（pǐn）生（shēng）產（chǎn）所需的酸、堿、有機物質等化（huà）學品供應設備、輸送管路係統的安裝施工質量驗收。
2、化學品供應設施安裝前，應按設計文件和產品說明書的要求或合約規定檢查設備、容器、閥門和附件的完整性和密封性等，並作檢查（chá）記錄。
3、化學品供應設施中的各類（lèi）泵的安裝施工應符合現行國家標準《壓縮機、風機、泵（bèng）安（ān）裝工程施工及驗收規範》GB 50275的（de）規定。
4、潔（jié）掙室（區）內化學品輸送管道係統的閥門箱等的（de）安裝，應符合下（xià）列要求：
（1）檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完（wán）整性、密封性和合格證書，並（bìng）作好（hǎo）檢（jiǎn）查記錄。
（2）就（jiù）位安裝應按工程（chéng）設計文件（jiàn）、產品說（shuō）明書要求進行，並檢查接管、接線方位的正確性。
（3）各種管道的連接（jiē），應在所在係統吹掃或清洗合格後進行。
5、化學品供應設施的容器、管道及其閥門、附件的材（cái）質（zhì），應符（fú）合工（gōng）程設（shè）計文件要（yào）求。
6、容（róng）器的搬運、安裝就位，應符合下列要求：
（1）搬入（rù）潔淨室（區）前，應進行清潔，符合要求後從規（guī）定的搬入口運入。
（2）容器搬運，應根據容器結構、規格尺寸及接管配置狀況，進行可靠的固定，不得倒置。
（3）就位（wèi）前，檢查基礎（chǔ）平（píng）整度、高（gāo）度（dù），基礎表麵的（de）水平度（dù）不得大於2%，標高偏差不大於2mm。
（4）容器各接管中心與基礎麵上的基準（zhǔn）線（xiàn）對（duì）準（zhǔn）、測量（liàng），其允許偏（piān）差為3mm。
（5）容器安裝就位後的垂直度，不應大於2‰。
7、化學品供應設施的低（dī）碳不鏽鋼管、PE管（guǎn）、PVDF管等的管（guǎn）道係統安（ān）裝施工見相關規定。
8、管道吹掃或清洗，應（yīng）符合下列要求：
（1）按各種化學品（pǐn）供（gòng）應係統，分別在安裝（zhuāng）完成後分係統進行吹掃或清洗（xǐ）。
（2）吹（chuī）掃或清洗宜（yí）采用幹燥壓（yā）縮空氣或純氮或清潔水，吹掃介質壓力為0.2-0.3MPa：吹掃管道應設置（zhì）過濾精度高的過濾器。
（3）吹（chuī）掃清洗時，應（yīng）關斷所有接至各類容器的閥門；管道係統的過濾器濾芯，流量計應卸下，待吹掃後按原樣恢複。
（4）各係統的吹掃應反（fǎn）複（fù）多次衝擊進（jìn）行，吹掃時間不宜少於2.0h，並以濕的白色濾紙或白布（bù）或（huò）塗有白色漆的（de）靶板放（fàng）在吹掃氣排出口，經5min後檢查微粒狀況。不合格時，繼續吹掃，直至合格。
9、管道係統的試驗、試運（yùn）轉應符合下列（liè）要求：
（1）管道（dào）係統的試驗應按工程設計文件要求進行強（qiáng）度試（shì）驗、氣（qì）密性試驗（yàn），金（jīn）屬（shǔ）管道的試驗（yàn）方法參照現行國家標準《工業金屬（shǔ）管道工程施工及驗收規範》GB50235的（de）規定進行。
（2）管道係統的試驗、試運轉，通常不（bú）包括各類容器、泵類等設備。
（3）承壓管道應進行強度和嚴密性試驗，強度試驗的試驗壓力為設（shè）計壓力的1.5倍，嚴密性試驗的試驗壓力為設計壓力（lì）的1.15倍。非承壓管道應進行滿水（shuǐ）試驗。
（4）試驗（yàn）合格後，以純水或氮氣進行清洗吹（chuī）掃，直至末端無（wú）雜質、汙染物為合格。