潔淨度的檢測與計算

1、潔淨度的等（děng）級
關於潔淨室潔淨度的分級，我國以前主要沿（yán）用美國聯邦標準FS-209的分級方法，即每立方英尺空氣中不小於0.5um的微粒個數不大於（yú）某（mǒu）一個數值。
標準（zhǔn）ISO 14644-1規定潔淨度（dù）等級的微粒大允許濃度按下式計算：

2、潔淨度檢測的采樣點數
（1）國家標（biāo）準《潔淨（jìng）廠房設計規範》和標準ISO 14644-1《空氣潔淨度分級》中規定：潔淨度檢測的少采（cǎi）樣點數按下式計算：

式中（zhōng），N_m為少采樣點數
    A為潔淨室或潔淨區的麵積，m²
（2）不同（tóng）標準采樣點數的差異
GB 50073-2001和 ISO 14644-1的規定與GB 50591-2010的規定有明顯的的差別。例如：對於5級2000m²的潔淨室，GB 50591-2010可選的采樣點數是（shì）800個，ISO 14644-1的（de）少采樣點數是45個，兩個標準相差18倍。前者平均2.5m²測一個點，後者平均（jun1）44m²測一個點。
有的操作者擔心44m²測一個點，即平（píng）均間隔（gé）7m遠測一個點，是否能全麵反（fǎn）映潔淨室（shì）的潔淨（jìng）度。其實這種擔心不是多（duō）餘的。如果個別高效過濾器漏氣，遠離漏氣點（diǎn）采樣檢測時潔淨度合格，靠近漏氣（qì）點采樣檢測時潔淨度就可能不合格（gé）。
事實（shí）是ISO 14644-1規定采樣（yàng）點數是少采樣點數（shù）。少采樣點數不等於合（hé）理的采樣點數，確定合理的（de）采樣點數還（hái）需要考慮下列因素：是（shì）幾（jǐ）個區間；區間形狀是否整齊；潔淨狀態（tài）是否均勻；過濾器是否檢漏。
考慮到上（shàng）述情況，合理的采樣點數有可能遠大於少采樣點數。
如果有這樣（yàng）一個前提：每個高效過濾器都經過嚴格的檢漏（lòu），保證全部過濾器都沒有（yǒu）泄漏現象，而且設計合理。那麽盡管檢測點很少，隻要檢測結果合（hé）格，就能保證整個潔淨室潔淨度合格。
反之，如果高效過（guò）濾器（qì）沒有經過嚴（yán）格的檢（jiǎn）漏，過濾器有泄漏現象，即使設計合理，如果潔淨度的檢測點很少，雖然檢測結果合格，也不能保證整（zhěng）個潔淨室（shì）的潔淨度合格。
ISO 14644標準對於高效過濾器檢漏要求得多。如果過濾器都經過嚴格檢漏（lòu），檢測點少是可行的。因此有兩種做法：一是對過濾器逐個嚴格檢漏，少量取點檢測室內潔淨度；二是大量取（qǔ）點檢測潔淨度，如果某點達不到（dào）潔淨度要求，對近的過濾器進行檢（jiǎn）漏（lòu）。
這兩種方法可以（yǐ）根據（jù）檢測的難度、工（gōng）作量等因（yīn）素選取。第二種方法更可靠，而且較經濟。
3、采樣量
標準ISO 14644-1對於采樣量有以下要求：
（1）采樣（yàng）點單次少采（cǎi）樣（yàng）量（V_m）按下式計算：

式中，V_m為每個采樣點單次少采樣量，L
    C_a，a為相關等級規定的所選大粒徑的等級限製，pc/m³
    20為假如粒子（zǐ）濃度處於空氣潔淨度等級限值，應被儀器測得的少粒子數
（2）每個（gè）采樣（yàng）點的采樣量不少於2L。
（3）采樣時間不少於（yú）1min。
（4）僅有（yǒu）一個采樣點時，該點的采樣次數不（bú）少於3次。
（5）采（cǎi）樣點單（dān）次少采（cǎi）樣量（V_m）計算實例：
1）ISO 4級
若以0.3um為準，C_a，a=1020pc/m³

若以0.1um為準，C_a，a=10000pc/m<sup>3

2）</sup>ISO 5級
若以0.3um為準，C_a，a=10200pc/m³

若（ruò）以0.5um為準，C_a，a=3520pc/m<sup>3

（6）GB 50591-2010的規（guī）定是：小采樣量=3/級別濃度（dù）下限
兩個（gè）標準的規定有（yǒu）差別，但差別大不。
4、采樣條件
（1）對於單向流（liú）應盡可能做到（dào）“等速（sù）采樣”。
（2）采樣管（guǎn）的入口應對著氣流的（de）主方向（xiàng）。
5、數據（jù）處理方法
（1）數據處理原（yuán）則
1）當采樣點多於（yú）9個時，將各采樣點微粒濃度的算術平均值作為潔淨室空氣中懸浮（fú）微粒（lì）的濃度。
2）當（dāng）采（cǎi）樣點多於1個但少於10個時，應計算總平均值、標準偏差和95%置信上限。
3）如果在每個采樣點測得的粒子濃度平均值的95%置信上限未超過所檢測潔淨室或潔淨區的濃度限值，則認為該潔淨室或潔淨（jìng）區達到了規定的潔淨度級別。
4）如果檢測結果未能滿足規定的（de）潔淨度級別，可增加均勻分布的（de）新采樣點進行檢（jiǎn）測，對包括新增（zēng）采樣（yàng）點數據（jù）在內的數據重新（xīn）計算的結果就是確定的結論。
5）如果95%置信上限的計算結果未達到規定的等級是由於（yú）檢測差錯或空氣中粒子（zǐ）濃度（dù）異常低而造成的單（dān）個限外值，則該值可以不計。</sup>
注：在（zài）統計分析（xī）中隻（zhī）考慮不均勻性的標準偏差，未（wèi）考慮測量儀器的標準偏差（chà），如校準（zhǔn）標準偏差（chà）。
（2）數據處理的計算
1）采（cǎi）樣點（diǎn）微粒濃度的平均值按下（xià）式計算：

式（shì）中，X_i，j為（wéi）i采樣點，第j次（cì）測（cè）得的微粒濃度
    n為i采（cǎi）樣點（diǎn）上的測定（dìng）次數（shù）。
2）微粒濃度的（de）總平均值按下式計算：

式中，m為采樣點的個數
3）采樣點濃度不均勻性的標準（zhǔn）偏差（chà）S按下式計算：

4）置信度95%的微粒濃度（dù）總平均（jun1）值的上（shàng）限按下式計算：

注：對於正態分（fèn）布（bù），置信度為95%的擴展因（yīn）子近似為2。