潔淨室的（de）檢測與認證--高（gāo）效空氣（qì）過濾器（qì）檢漏

高效空氣過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能（néng）實驗檢測（如DOP測試等），並提供合（hé）格證(性能實驗結果)。對（duì）於5級(100級)以上潔淨室所使（shǐ）用的高效空氣過濾器，在現場應再次進行高效空氣過濾（lǜ）器本體（tǐ）的性能檢（jiǎn）測，同時進行檢漏（lòu）試驗以確認高效空氣過濾器是（shì）否正確安裝。在大規模集成電路生產的超潔淨技術中(如0.1um，1級)，由於新風量往往僅（jǐn）是循環風量的百分之幾，經過（guò）稀釋上風側也變成6級(1000級)的程度。在這種情況下，就必須重新考（kǎo）慮采用DOP檢漏試驗（yàn）。
1、檢測要求
（1）一般采（cǎi）取粒子計（jì）數（shù）器法進行檢漏，被檢高效空氣過濾（lǜ）器必須已檢測過風量，並在設計風速的80%～120%進行。
（2）對於被檢高效（xiào）空氣（qì）過濾器上風（fēng）側的微粒濃度符合下列要求：
對受控微粒≥0.5um的濃度，必（bì）須大於等於3.5*10⁴pc/L
對受控（kòng）微粒≥0.1um的濃度，必須大於等於3.5*10⁶～3.5*10⁷pc/L
2、檢測方法
采用掃描法對高效空氣過濾器（qì）安裝接縫和主斷麵（miàn）進行檢測，監測點應（yīng）距（jù）被測表（biǎo）麵20～30mm，測頭以5～20mm/s的速度移動，對被（bèi）檢過（guò）濾器整個斷麵（miàn）、封膠頭和安裝框架處進行掃描。粒子計數器的小采樣量大於1L/min。
3、檢測（cè）設備
（1）光散射粒子計數器
其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現象，將采（cǎi）樣空氣中微粒的光脈衝信號轉換為相應的電脈衝信（xìn）號來測定微粒的顆粒（lì）數，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關係，測量微粒粒徑（jìng）大小。光散射粒子計數器一般（bān）由氣路係統（tǒng）、光學係統、電路係統（tǒng）和電源等（děng）部分組成。
（2）激光粒子計數器
其工作（zuò）原理與光散射粒子計數器基本相同，但因（yīn）采用了（le）比光散射粒子計數（shù）器（qì）強100倍的氦-氖激光光源，所（suǒ）以微粒粒徑（jìng）的檢測範圍達0.1μm。
（3）凝聚核粒子計（jì）數器
它是利（lì）用飽和蒸（zhēng）汽讓微小粒子凝（níng）聚為大粒徑（jìng）粒子（zǐ），進行微粒粒子濃（nóng）度測定。工作原（yuán）理為：采（cǎi）樣（yàng）空氣中的微（wēi）粒，經過溫度為35℃的飽和管（guǎn），然後在溫度為10℃的凝聚管內由媒介液進（jìn）行凝聚，直至增大到能夠檢測到散射光的粒徑為止，其他部分與（yǔ）一般光（guāng）散射粒子計數器相同。
4、合格（gé）標準
GB 50591-2010《潔淨室施工及驗收規範》中規定，由高效空氣（qì）過濾（lǜ）器下風側泄露濃度換算成的透過率來衡量是否合格，其合格標準如下：
對於高效空氣（qì）過濾器  K′=c2/c1*100%≤2K
對（duì）於超高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K為過濾器出廠（chǎng）時檢測合格（gé）的透過率；
    K′為過濾器的泄露濃度換（huàn）算成的（de）透過率；
    c1為過濾器（qì）上風側含塵（chén）濃度；
    c2為過（guò）濾器下（xià）風側含塵濃（nóng）度。