潔淨室用檢測（cè）儀（yí）器--特殊測量儀器

1、振動儀
振動儀（yí）主要是（shì）用於測定潔淨室地基的振動，一般靈敏（mǐn）度較高，量程較小，多數屬於（yú）微（wēi）米級。振動儀的主要參數是（shì）振幅和頻率。
2、氣體（tǐ）濃度測試儀
氣體（tǐ）濃度測試（shì）儀是一個大類，不同的氣體有不同的測試儀器（qì），同一種氣體也有不同的（de）測試儀（yí）器，不同（tóng）的濃度往往（wǎng）需要不同的測試儀器，所以（yǐ）隻能具（jù）體問題具體分析。概括的（de）講，氣體濃度測試方法分為兩大類：
一類是使（shǐ）用直讀（dú）儀器，也就是使用能直（zhí）接讀出氣體濃度數值的儀（yí）器。這（zhè）種儀器一般是由化學（xué）傳感器和數字顯示係統組成，現場檢測，直接（jiē）讀出氣體濃度（dù）。這（zhè）種儀器（qì）的（de）特點是使用方便、速度快（kuài），但往往靈敏度不高，壽命較（jiào）短（duǎn）。
另（lìng）一類是采樣後用儀（yí）器分析，也就（jiù）是先用采樣器采取氣體樣品，帶回實驗室後用儀器進行（háng）分析，獲得氣體濃度的（de）數據。采樣的方式分為兩大類：一類是直接（jiē）采取被檢（jiǎn）測的氣（qì）體；另一類是（shì）將需要（yào）檢測的氣體吸收到用化學試劑配製的液體中，有時吸收液還要經過一係列的化學處理，才能送入儀器中分析。此類測試（shì）方法的特點是（shì）操作比較麻煩（fán），速度（dù）較（jiào）慢，但（dàn）一般靈敏度較高、可靠性較強。
3、氣溶膠發生器
氣溶膠發生器實際上是一種（zhǒng）能（néng）向氣體中發散顆粒物的設備。潔淨行業習慣將含有顆（kē）粒物的氣體稱為氣溶膠（jiāo），所以將向氣體中發散（sàn）顆粒物的設備稱為氣溶膠發生器。如果（guǒ）發散顆粒（lì）物是標準的（de）則稱為“標準（zhǔn）顆粒發霧（wù）器”。能夠製造標準顆粒，並且直（zhí）接（jiē）將標準顆粒發散到超淨氣（qì）體中的設備稱為“標準顆粒發生器”。
4、靜電測試儀
靜電測試儀有許多種類，例如（rú）靜電電壓計、高阻電阻計、充（chōng）電板監測儀等。
5、顯微鏡
顯微鏡是檢測顆粒尺度直觀的儀器（qì），所以標準顆粒盡量使（shǐ）用顯微鏡進行標定。顯微鏡（jìng）的種類繁多，比較可靠的是光學顯微鏡和（hé）電子顯微鏡。
（1）光學顯微鏡
光學顯微鏡有三大（dà）類（lèi）：一（yī）類是生物顯微（wēi）鏡。其特點是光線透過（guò）樣（yàng）品成像，可以理解（jiě）為是（shì）透射式光學顯微鏡。主要應用於生物、醫學行業，所以稱為生物顯微鏡。二類是金相顯微鏡，特點是使用樣品的反射光成（chéng）像，可以理解為（wéi）是反射式光學顯微鏡。主要應用（yòng）於冶金、機械行業，所以稱為金相顯微（wēi）鏡。三類是岩相顯微鏡，特點是使用偏（piān）振光（guāng）成（chéng）像，可以理解為是偏振光學顯微鏡。主要應（yīng）用於岩石（shí）、礦物行業，所以稱為岩相（xiàng）顯微鏡（jìng）。
光學顯微鏡的優點是：放大倍數穩定，操作（zuò）比（bǐ）較簡單；缺點是：放大倍數、分辨（biàn）力都（dōu）不（bú）高，不能用於測定（dìng）小（xiǎo）的顆粒。光學顯微（wēi）鏡一般隻能看到不小於（yú）0.5um的顆（kē）粒，能夠檢測不小於5um的直（zhí）徑（jìng）。對（duì）於小顆粒需要使用（yòng）電子顯微鏡。
（2）電子顯微鏡
電子（zǐ）顯微（wēi）鏡就是使用電（diàn）子成像的顯（xiǎn）微鏡。電（diàn）子顯微鏡有（yǒu）許（xǔ）多種類，其中常用和比較成熟的有兩大（dà）類：透射電子顯微（wēi）鏡和掃描（miáo）電子顯微鏡。
1）透射電子顯微鏡。透射電（diàn）子顯微鏡的成像原理類似於生物顯微鏡，隻是用電子代替了可見光（guāng），用（yòng）電磁透鏡代替了（le）玻璃透鏡（jìng）。透（tòu）射電子顯微鏡可以將物體放大上百萬倍，可（kě）以看到（dào）小於1nm的物體，用於測（cè）量顆粒物（wù）綽綽有餘（yú）。用顯微鏡測量物體的尺度，需要有（yǒu）長度標準器具，長度標（biāo）準器具的形狀和分度需要穩（wěn）定（dìng）。然而透射電（diàn）子顯微鏡是使用電子透過樣品成像，電子的穿透（tòu）能力很差，即使是10萬伏電壓加速的電子，也不能穿透100nm厚的物體。厚度小於100nm的物體非常柔嫩，即使是鋼鐵或礦石，也會像塑料薄膜那樣隨風漂浮，其形狀和（hé）尺度都不穩定。因此，直到現在還沒有合理合法可（kě）供透射電子顯微鏡使用的長度標準器具，所以還不具備用透射電子顯微鏡測量標準顆粒（lì）尺度的充分條件。
2）掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡有點像金相顯微鏡，成（chéng）像電子（zǐ）不穿過樣品（pǐn）。掃描電子顯微鏡是（shì）用高能電子照射樣品，激發樣品發射二次電子，利用（yòng）二次電子成像。由於二次電子的能量較小，運動的速（sù）度（dù）較慢，不能像金相顯微鏡或透射電子顯（xiǎn）微（wēi）鏡那樣聚（jù）焦成像，隻能通過逐點掃描，點點對應成像。掃描電子顯微鏡的放大倍數和分辨（biàn）力雖然沒有透射電子顯微鏡高，但是也能放大幾十萬倍，可以看到幾個納米的物體，用（yòng）於測量大於10nm的（de）顆粒物是可行的。更重要的是：掃描（miáo）電子顯（xiǎn）微鏡可以觀察很厚的樣品，容易製造長度標準器具（jù）。已（yǐ）有合理合法的供掃描（miáo）電子顯微鏡使用的長度標準器具。