1379327227013793272270
| 文件名 | 題目 | 狀態 | 簡介 |
| ISO14644-1 | 通過顆粒物（wù）濃度對空氣潔淨度進行分類（lèi） | 2015 | 涵蓋潔淨室及其相關受控環境中的空（kōng）氣潔淨度分（fèn）類 |
| ISO14644-2 | 監測通過顆粒濃度提供（gòng）與空氣潔淨度相（xiàng）關的潔（jié）淨室性能的證據（jù） | 2015 | 監控和定期測試潔淨室或潔淨區的要求，以證明其繼續符合ISO14644-1 |
| ISO14644-3 | 測試方法 | 2005 | 用（yòng）於表（biǎo）征潔淨室和潔淨區性能的空氣顆粒潔淨度（dù）分類的測試方法 |
| ISO14644-4 | 設計、建造和啟動 | 2001 | 潔淨室安裝的設計（jì）和構造要求（qiú） |
| ISO14644-5 | 運營 | 2004 | 潔淨室運行的基本要求 |
| ISO14644-7 | 分離裝置（清（qīng）潔空氣罩、手套箱、隔離器和微環境（jìng）） | 2004 | 分離設備的設計、構造、安裝、測試和批準的（de）低要求（qiú） |
| ISO14644-8 | 按化學（xué）物濃度（ACC）分類的空（kōng）氣潔淨度 | 2013 | 涵蓋潔淨室及其相關受控環境（jìng）中氣態分子汙染物（AMC）的分類 |
| ISO14644-9 | 通過顆粒物濃度對表麵清潔度進行分類 | 2012 | 通過潔淨室及其相關受控環境中的顆粒物濃度確定固體表麵（miàn）潔淨度等級的分（fèn）類 |
| ISO14644-10 | 按化學物濃度對表麵清潔度進行分類 | 2013 | 根據化（huà）學化（huà）合物或元素的存在情（qíng）況定（dìng）義潔淨室表麵潔淨度的（de）分（fèn）類（lèi）係統 |
| ISO14644-12 | 通過納米級顆粒濃度監測空氣潔淨度（dù）的指南 | 2018 | 根據懸浮納米級顆粒物濃度的空氣潔淨度（dù）的監測 |
| ISO14644-13 | 對表麵進行清潔以便達到規定的顆粒物和化學物潔淨度 | 2017 | 用清潔劑處理潔淨室表麵、潔淨室設備表（biǎo）麵和潔淨室中材料表麵的特定清潔程度 |
| ISO14644-14 | 根據懸浮顆粒物濃度評估（gū）設（shè）備使用的適用性 | 2016 | 設（shè）備在潔淨室和相關（guān）受控環境中適用性的評估方法（fǎ） |
| ISO14644-15 | 通過懸浮化學物濃（nóng）度（dù）評（píng）估設備和材料的適用性 | 2017 | 將用於潔淨室（shì）及其相關受控環境中的設備和材料引起的（de）化學物潔淨度提出要求（qiú）和指（zhǐ）南 |
| ISO14644-16 | 提高潔淨室（shì）和淨化設備能效的實施（shī）指南 | 2017（在編） | 為新建和現有的潔淨室、潔淨區和（hé）分離設備提供優化能源使用和保持能源效率的指導和建議 |
當前位置：