潔淨室的驗收--靜壓差的測定

維持潔淨室的（de）靜壓差在規定的範圍內，可以有效控製潔淨室的交叉（chā）汙染。通常所說的正壓潔（jié）淨室和負壓潔淨室，其實是反應它與相鄰（lín）空間的壓力差ΔP，如果ΔP＞0，該（gāi）潔淨室就（jiù）是正壓潔淨室；若ΔP＜0，則為負壓潔淨（jìng）室。所（suǒ）以，潔淨（jìng）室的靜壓沒（méi）有太大意義，我們要控製的是（shì）潔淨室與（yǔ）相鄰潔淨室或室（shì）外的（de）壓力差（chà）。
1、檢測要求
（1）靜壓差的檢測須在（zài）潔淨區內的所有門全部關閉的情況下（xià）進行。
（2）測（cè）試（shì）順序應在潔淨室平（píng）麵上由潔淨度高的潔淨室到潔淨度低的潔淨室（或走廊）依次進行，一直檢測到直通室外的房間。
（3）測管口應設在潔淨室內沒有氣流影響的地方，測管（guǎn）口（kǒu）平麵應（yīng）與氣流（liú）方向（xiàng）平行。
2、測量儀器
采用YJB-150補償微壓（yā）計或微（wēi）差壓力計，儀器（qì）靈敏度由被測環（huán）境壓差控製精（jīng）度而定，宜小於0.1Pa，規（guī）範要（yào）求靈敏度（dù）不應低於2.1Pa。
3、測試方法
（1）關閉所有的（de）門。
（2）用微差壓力計，根據預先設計的測定順序測量各潔淨室之間，潔淨室與潔（jié）淨（jìng）走廊之間，潔淨室與非潔淨室之間及非（fēi）潔淨室與室外的壓差。
（4）上述所測數值分別標（biāo）注在已畫好的測試平麵圖上。
4、合格標（biāo）準
按上述（shù）測試（shì）平麵圖所標注的壓差數據，分別（bié）與設計或（huò）工藝要（yào）求的壓差值對比。若實測壓差大於或等於要求的壓差值，則判定（dìng）為合（hé）格；但實測壓（yā）差值不宜超出標準要求的壓差（chà）太多（duō），否則會產生噪聲且影響開關門，嚴重時還會（huì）在開關門時影響氣流（liú）組織。