潔淨室如何進行靜電測試？

1、表麵電荷電位測（cè）量
（1）測（cè）量點或待測物體應按合同文件（jiàn）的規定。選擇測試儀要依據待測物（wù）體（tǐ）是絕緣體還是導體以及其物理尺寸（cùn）。
（2）手持儀器探頭，其距接地的金屬板的距離按生產商的規定，將靜電計或場強計的讀數調（diào）為零。
（3）手持探頭使之與金屬板平行，與金屬板的（de）距離按生產商（shāng）的（de）建議（yì）值。
（4）金屬板（bǎn）的表（biǎo）麵積應足夠大，適（shì）合於所要（yào）求（qiú）的的探頭開口，且金屬板足夠大（dà），有合（hé）適的探頭與（yǔ）表（biǎo）麵間距比率。
（5）按生產商的說（shuō）明，使探頭接近物體表麵，並測（cè）量表麵電壓，或測量電場。記錄每個規定測點的測量值。
2、表麵電阻測量
（1）具體測量條件按合同文件的規定。
（2）應按生產商的建議以正確的間距將兩個電極設置在表麵上。用具有合適輸出電壓的歐姆（mǔ）計（jì）測量表麵電阻。記錄下每個規（guī）定測量點的測量值。
（3）將一個電（diàn）極接地，另（lìng）一個電極應按生產商的（de）建（jiàn）議放置在表麵上。用具有合適輸出電壓的歐姆計測量表麵電阻。記錄下每個（gè）規定測量點的測量值。
3、離子發生（shēng）器測試
（1）測量點或（huò）待測物體應按合（hé）同文件的（de）規定。
（2）工業標準中規（guī）定的測量電離器（qì）性能的儀器稱為帶電板監測器。它的（de）基本組成是：一（yī）個已（yǐ）知（zhī）電（diàn）容量的孤立導（dǎo）電板，將板充電至已知電壓或使（shǐ）其電壓為零的電源，可測（cè）量板上（shàng）的電壓及（jí）其達到預置水平的時（shí）間的測量手（shǒu）段。
（3）將CPM放在規（guī）定的測（cè）量點（diǎn），用電源（yuán）將孤立的導電板充電至已知電壓。
（4）隨（suí）著板上的（de）靜電荷被電離器所減少，測量該板上的靜（jìng）電壓降（jiàng）至10%初始電壓的時間，即放電時間（jiān）。在每（měi）個規定的測量點記（jì）錄測量值。
（5）重複該步驟，將板充電至已知負電壓。在（zài）每個規定的測量點記錄測量值。
4、剩餘（yú）電壓（yā）測量
（1）測量點或待測物體應按合同文件的規定。
（2）將CPM放在規定的測量點，將孤立（lì）的導（dǎo）電板接地以消除殘餘電荷。如需要，將CPM讀數調（diào）為零。斷開接地連接。
（3）允許（xǔ）孤立的金屬板有（yǒu）充分的（de）時間從電離器獲得電（diàn）荷，且讀數穩定。記（jì）錄剩餘電壓。