
檢測目的:檢測潔淨(jìng)室內空氣懸浮粒子等(děng)級。根(gēn)據ISO 14644-1:1999(E)確定房間潔淨度(dù)分級。
儀器設備:塵粒計數器
檢測條件:靜態
對每種塵粒尺寸的允(yǔn)許(xǔ)計數限值:
ISO 4級:≤1020個/m3:0.3um以上
≤352個/m3:0.5um以上
ISO 5級:≤10200個/m3:0.3um以(yǐ)上
≤3520個/m3:0.5um以上
ISO 6級:≤35200個/m3:0.3um以上(shàng)
≤293個/m3:5.0um以上
檢測步驟:
參考:ISO 14644-1:1999(E)空(kōng)氣潔淨度分級
NEBB潔淨室(shì)認證檢測標(biāo)準步驟(第二(èr)版)
1、本檢測應在其它所有檢測完(wán)成之後進行。
2、潔淨室在檢測進行前12小時通風。
3、潔淨室依(yī)照ISO 14644-1:1999(E)要(yào)求劃分為檢測網格,檢測網(wǎng)格數量由潔(jié)淨室麵積(m2)的平方根確定。
4、ISO 5級潔淨室的采樣時間間隔為1分鍾,ISO 4和6級潔淨室的采(cǎi)樣時間間隔(gé)為3分鍾,計數器(qì)的采樣率為(wéi)28.3lpm(1立(lì)方(fāng)英尺/分鍾)
5、在每個網格的中心(xīn)位置,距(jù)地板1m高度至少采樣一次,當塵粒數超過(guò)允許(xǔ)計數上限75%,則該采樣點需(xū)3次采樣(yàng)。
6、當室(shì)內存在障礙物(wù),采(cǎi)樣點需(xū)高於障礙物表麵12英寸(1英尺)。
7、根據收集的數據(jù)計算平(píng)均值,標準(zhǔn)差及95%置信(xìn)上限(xiàn)。
計算方法:
式中,Ci為網格平均濃度
N為房間或區域內采樣點總數(shù)
標準1:各采樣點的采(cǎi)樣量的大值均小於大允許采樣量
標準2:(當2≤N≤9)
≤大允許采樣量(liàng)
式中:
t0.95中的t為分布在N-1自由度下95%分(fèn)位數。