潔淨室靜電測試（shì）

潔淨（jìng）室（shì）內往往存在著不容忽（hū）視的靜電危害，是導致電子（zǐ）器件、電子儀器和設備損壞或性能下（xià）降的重（chóng）要因素之一，對芯片製造影響尤（yóu）為重要（yào）。此外，靜電還是潔（jié）淨室在生產過程中有易燃易爆氣體或粉塵產生（shēng）時（shí），導致爆炸（zhà）、火（huǒ）災的元（yuán）凶以及（jí）存在電（diàn）擊傷人的隱患。潔淨室靜電對（duì）塵埃（āi）的吸附效應，也易造成生產環境和產品各個（gè）壁麵的塵埃聚集，以致影響潔淨室的環（huán）境和產品被汙（wū）染。
1、相關的規範規定
潔（jié）淨室相關規範對（duì）靜電防護問題，從設（shè）計到運行都有（yǒu）具體的規定。例如，潔淨（jìng）室設（shè）施應選用既不會產（chǎn）生也不能蓄積（jī）大（dà）量靜電的（de）建築材料。為保護對靜電敏感（gǎn）的設備、器件、地（dì）麵，電（diàn）阻應該（gāi）在104～107Ω範圍內，表麵聚集電荷的限定（dìng）值（zhí）應小（xiǎo）於2kV等等。
國家標準（zhǔn）GB 50073-2001《潔淨廠房（fáng）設計規範》規定（dìng）：潔（jié）淨室地麵層應具有（yǒu）導電性能並保持長時間穩（wěn）定。潔淨（jìng）室地麵表層應采用靜電耗（hào）散性材料，其表麵電（diàn）阻應（yīng）為1.0*105～1.0*1012Ω或（huò）體積電阻率為1.0*104～1.0*1011Ω.cm。潔淨室地麵應設有導電泄放措施和接地（dì）構造，其對（duì）地泄放電阻應為1.0*105～1.0*109Ω等等。
2、靜電測試方法
靜電測試通常包括兩部分內容，一是靜電測（cè）試本身，其（qí）目（mù）的是掌握產品表麵上的（de）靜電電（diàn）荷和地麵（miàn）、工作台麵或其它設（shè）施的靜電電壓的耗散（sàn）率；二是離子生（shēng）成（chéng）器測試（shì），其目的是（shì）通過監測器測（cè）量初始充電的放電時間和通過測定隔開來（lái）的（de）監測板的補償電壓來評估其性能。上述兩部分測量結果都能反映清除或中和靜電荷的效率和產生的正負離子量間的不穩定性。
（1）表麵電壓水平的測量
通常采用靜電電壓計或場強計測定設備（bèi）和產品表麵的正負靜電荷（hé），具體（tǐ）方法是把靜（jìng）電電壓計或場強計的輸出調節為0，按儀器（qì）說明書規定（dìng），讓探測器麵朝接地的金屬板，探測頭保持使測孔平行於所規（guī）定的某個距離處放置的板，記錄下靜電電壓計的讀值。
（2）靜電耗散性的測（cè）量
通過測量（liàng）表麵上（shàng）不同位置之間的電阻—表麵電阻和表麵和地麵之間的電阻—漏電電阻，來評定靜電耗（hào）散特（tè）性。一（yī）般采用高電阻（zǔ）計來測量。
（3）離子生成器測試
本項測試的目的是用（yòng）以評估雙級（jí）離子生成器（qì）的性能，測試內容為測試（shì）放電時（shí）間和補償（cháng）電壓，放電時間將用以計算離子生成器消除電荷的效率，補償電壓將用以評估在離（lí）子生成器（qì）生成（chéng）的離子化氣體中，正負離子的不（bú）穩定性。離子的不穩定性會造成不利（lì）的殘餘電壓。
測量工（gōng）作由稱之為“充電板監（jiān）測器”的設備完成，該設備（bèi）由導（dǎo）電監測板、靜（jìng）電（diàn）電壓計、計時器和電源等構成。
（4）放電時間的測量
采用已知電容，例如20pF的（de）絕緣導電板作為監測板。開始時用電源給監測板充電並達到已知的正或負電壓，隨後將監測板暴露在被評估的雙級離子生成器（qì）所離子（zǐ）化的氣體中，用靜電電壓計測量充到板上的靜電荷，同時（shí）以計時器配合測量板上電壓（yā）隨時間的變化。
放電時間的定義是：監測板（bǎn）上的靜電荷減少到（dào）100%初始電壓所需的時間。由用戶和供應商協（xié）商確定作為驗收（shōu）標準的測試點的位置和（hé）測定結果。
（5）補償電壓的測量
采用類（lèi）似的監測板裝在絕緣器上，用靜電電壓計（jì）監測絕緣板上的電荷，以測量補償電壓。開始（shǐ）時，將監測板（bǎn）接（jiē）地（dì），去除殘餘電壓，確認板上（shàng）的電壓為0，隨後把板（bǎn）暴露在離子化的（de）氣體中，直到電壓計的讀數穩定，該值即為所（suǒ）測的補償電壓（yā）。離子生成器的允許補償電壓，決定（dìng）於工作區的（de）物體對靜（jìng）電荷的敏感性，所以（yǐ）允（yǔn）許的補償電壓應由用戶與供應商協商確定。
（6）測試報（bào）告
1）儀器使用者或數據采集設備的名稱；
2）測試（shì）儀（yí）器的名（míng）稱及其校準狀態；
3）測試和測量類型及其測（cè）量條件；
4）溫度、濕度和環境（jìng）數據；
5）測點位置；
6）潔淨室檢測時所處的狀態。