潔淨室汙染物的監測（cè）采樣及需要注意的問題

為確保生產環（huán）境對生產工藝的汙染處於控製之中，就需要對環境設定限製。對空氣環境而言，通過測定空氣懸浮（fú）顆粒物或微生物的（de）生成單位來（lái）作（zuò）出（chū）判斷。而且ISO 14644和其它相關標（biāo）準對於采樣方法和限製（zhì）都有具體的規定。控製的方法主要是（shì）淨化通風，但對於（yú）人員與產品因（yīn）直接接觸而造成（chéng）的（de）危害，其控製措施主要是戴手套、指套，以及要求生產人員采用盡可能避免直接接觸的正確操作方法。而監測工作（zuò）包括檢查所用手套的破損情況、測量手套表麵的粒子或微生物等。
潔淨室內的汙染（rǎn）源（yuán）、傳播途徑、控製與監測方（fāng）法見下表：

監測采樣（yàng）必須采用正確、可（kě）靠的方法。為（wéi）保證監測采樣的結果可靠，以下問題必須引起重視。
1、采樣（yàng）儀器的采樣效率
例如根據潔淨（jìng）室監測的微粒粒徑，盡可能選用合適的（de）離散粒子計數器，避免使用其粒徑閾值（zhí）作為監測粒徑，一（yī）般來說離散粒子計數器的粒（lì）徑閾值檔的效率往往偏（piān）低。
2、儀器校準
仍以離散粒子計數器為例，其激光光源的光強、其它如（rú）光電轉換電子器件的效能，都會隨時間有所變（biàn）化，定期校（xiào）準與標定是保證其測值可信的重要條件。
3、製定報警值和行動值
有些監測係統是連續工作的，如高潔淨度潔淨室設有持續（xù）的顆粒（lì）物計數監控裝置，而另一些相對不十分重要的汙染（rǎn）源，如頂棚等，可能隻有定期的清潔製度，並不對其進行監測。對潔淨室（shì）內的各種危害及相應的（de）控製方法都要確定監測的製度，其中就包括監測的頻率（lǜ）。危害程度（dù）越高，采樣應越頻繁（fán）。
當監測結果表明汙染危（wēi）害未（wèi）受到控（kòng）製時，必須事前先（xiān）確定應采（cǎi）取怎樣的糾正（zhèng）措施，設定報警條件（jiàn）和行動條件就是一（yī）種常用（yòng）的方法。報警值設定為某個高於預期值的汙染濃度，但該值（zhí）仍在控製範圍內。一般超過報警值並不采取行動，因為這僅是對將來出現（xiàn）問題的一個警示。如果在相對較短的時間內多次出現報警，則可能預示（shì）著需要采取行動。
而（ér）行動值應設置為一（yī）旦超過就（jiù）必須進行檢查、分析，確認這種狀況是否可以接（jiē）受。如果不（bú）能，要采取什麽措施才可以控製局麵。