
潔淨室的淨化空調負荷由(yóu)下麵幾部分組成:
一、室內負荷主要包括:
1、室內作業人員的散(sàn)熱(rè)、散濕負荷。
2、室內照明燈具的散熱負荷。
3、潔淨(jìng)室圍護結構(牆、頂、地、門、窗)的傳熱、傳濕負荷。
4、生產設備(bèi)和生產過程的散熱、散濕負荷。
二、潔淨室新風處理的熱、濕負荷。夏季是降溫去濕;冬季是加熱、加濕。
三、空氣循環時風機(或FFU)的溫升和水泵的溫升負荷。
潔(jié)淨室的空調負荷(hé)特點:
1、高級別潔淨室(100級(jí),10級,1級)是垂直單向(xiàng)流潔淨室,其送風機的風量非常大,高(gāo)達400~500次/h換氣,而且風機的壓頭也很(hěn)高,一般多在1000~1500Pa,因此風機溫升的負荷大。按理論(lùn)計算(suàn):在集(jí)中送(sòng)風方式的係統中,風機的溫升為1.5℃,*一項的負荷就是500~700W/m2;如果采用FFU送風方式,風機溫升(shēng)的負荷(hé)也(yě)要250~350W/m2。因此(cǐ),風機溫升的負荷大是其一(yī)個負荷特點(diǎn)。
2、服(fú)務於微電子和光電子的(de)高級別潔淨室因(yīn)工藝排風量大,所以新風量也很大,新風量一般在10~20次/h換氣;因此(cǐ),處理如此多新風(fēng)的負荷大約為400~800W/m2;個別工藝的排風量更大,固新風負荷也還會更大。因此新(xīn)風負荷大是其(qí)第二個負荷特點。
3、生產設(shè)備和生產過程的散熱、散濕負荷大,是(shì)高級別潔淨室的第三個負荷特點。生產負荷的大小是與工藝生產(chǎn)本(běn)身的性質、生產設備的密閉、保溫、通風以及水冷卻的情況(kuàng)有關。
4、圍護結構的傳熱、照明燈具的散(sàn)熱以及作業人員的發熱這三項負荷相對比較小(xiǎo),三(sān)項負荷之和還不足總空調(diào)負荷的10%(其中:照明負荷大約25~30W/m2;圍護結構負荷大約20~30W/m2;作業人員負荷大(dà)約10~15W/m2,這是高級別潔淨室第四個負(fù)荷特點。
潔淨室空調淨化係統的節能措(cuò)施:
潔淨(jìng)室的空調淨化係統節能,應首(shǒu)先從分析其(qí)空調負荷(hé)特點入手,抓住空調負荷中的(de)主要矛盾,才能事半功倍(bèi)。高級別潔淨室空調(diào)負荷中占90%以上的負荷是:新風負荷、風機(jī)溫升負荷和工藝設備和(hé)工藝過程負荷三項。這是它的主要矛盾(dùn)。
一、降低新風空調負荷的節能措施
1、減少排風(fēng)量。改進工藝和工藝設備,盡可能不排風,少排風。采取密閉式排風罩在(zài)同(tóng)等的排風效果下盡量減少排風量。
2、減少正壓漏風量(liàng)。加強潔淨室圍護結構的(de)密封性,既能保(bǎo)持潔淨室必要的正壓值,又可減少(shǎo)所需的正壓漏風(fēng)量。
3、提(tí)風空氣處理設備的效率。
二、降低風機(jī)溫升負荷的節能措施
1、在確保潔淨室潔(jié)淨度的前提下,盡量減少(shǎo)送(sòng)風量,盡量用局部(bù)高淨化來替(tì)代全麵高淨化。
2、加強空調設備(bèi)和空(kōng)調係統的密閉性,減少漏風量。
3、采取淨化送風與空調送風分離的送風方案,使(shǐ)90%的(de)淨化送風(fēng)量(liàng)就近循環以減少風機溫升負荷。
4、采用FFU加新風(fēng)機組加(jiā)幹盤管的(de)送(sòng)風方式以減少風機溫升負荷。
5、提高風機效率,采(cǎi)取變頻措施。
三、工藝設備和工藝過程的(de)發熱是工藝(yì)生產本(běn)身的問題,隻能(néng)依靠工藝自(zì)己來解決。
四(sì)、除上述措施之外,還可采取如下措施:
1、合理選擇和確定潔淨(jìng)室內的工藝參數(溫度、濕度(dù)、潔淨度)。潔淨室的淨化空調是重點能耗大戶(hù),因此在選擇和確定潔淨室的潔淨度和溫(wēn)、濕度時要慎之又慎。即在滿(mǎn)足生產工藝要求的前提下,不應過高過嚴要求。否則,其能耗會大幅度上升。分析計算潔淨室內溫(wēn)度放寬1℃時其能耗可節省3%左右;其相對濕度放寬5%時其能耗又可節省3%左右。另外負荷計算時安全(quán)裕量不應留有過大,否則(zé)設備的耗電會大大增加,為了今後的發展要留有動力設備的空位。
2、優化淨化空調係統空氣處理過程
淨化空調(diào)係統(tǒng)空氣處理(lǐ)過程的優化對節能的效果十分明顯,優化的(de)目的就是減少或消除冷熱抵消現象和降低風機溫升。在“潔淨手術部和醫用氣體設計與安裝”的國家標準圖的例題中的計算結果是這樣的(de):對於一級潔淨手(shǒu)術室(北京)夏季(jì)耗冷量,當采用一次回風係統時是60kW,而采用二次(cì)回風係統時隻有25kW,當采用新風(fēng)機組深冷抽濕處理時其耗冷量隻有20kW。
3、合理選擇淨化空(kōng)調設備
①設計建造潔淨室(shì)時要(yào)選用(yòng)高效率的淨化空調(diào)設備(bèi)(冷機、風機、水(shuǐ)泵)。
②選(xuǎn)擇低阻高效的過濾設備(bèi),風機和水泵的壓頭選擇不宜(yí)過高。
③電動設備采取變頻措施。
4、低位熱能的利用和廢熱的回收
低位熱能和廢熱回(huí)收的潛力非常大(dà)。現在很(hěn)多專家在這(zhè)方麵進行了大(dà)量研究,如:工藝冷卻(què)水的回收和利(lì)用;噴(pēn)水氣化潛熱的利(lì)用;冷凍機、空壓機廢熱(rè)的(de)回(huí)收以及利用冷凍水和中溫水回水混合製造中溫水等等。
5、加(jiā)強水管和風管的保溫。
6、減少冷熱源的跑、冒、滴(dī)、漏。
7、采取熱回(huí)收,充分利用廢熱。
8、盡量利(lì)用天然能源作空調係統(tǒng)的預冷和預熱,如:太(tài)陽(yáng)能(néng)、地下水、土壤能等(děng)。
9、利用蓄冰和蓄熱等優惠政(zhèng)策。