
風機過濾單元廣泛應用於潔淨室、潔淨工作台(tái)、潔淨生產線、組裝式潔淨室等場所,還(hái)適用於半導體、電子、平板顯示器(qì)的生產線等其它對空氣中汙染有嚴格控製要求的地方。
一(yī)、組成部分
FFU通常由離心式風機、過濾(lǜ)器(高效過濾器HEPA或超高(gāo)效(xiào)過濾器ULPA)、殼體、控製器(qì)等組成。
(1)外殼體
外殼體的主要材質有冷(lěng)板烤漆、不鏽鋼、覆鋁鋅板等。不同(tóng)的使用環境有不同的選擇。它的形狀分兩(liǎng)種,一種上(shàng)部為坡形,坡形主要起到(dào)導流的作用,有利於進(jìn)氣氣流的流動和均勻分布;一種是(shì)長方體(tǐ),美觀且可以使進入殼體(tǐ)內空氣以最大麵積接觸過濾器表(biǎo)麵。
(2)粗效過濾器
粗效過(guò)濾器主要是為了防止因施(shī)工、檢修或其他情況產生的雜物對高效過濾器造成傷害,其材質一般是(shì)可清洗的聚氨酯纖(xiān)維。
(3)葉(yè)輪
葉輪有前傾和後傾兩種(zhǒng)形式(shì),前(qián)傾有利於增加氣流(liú)組織的矢向流(liú)動,增強去除塵埃的能力;後傾有利於降低能耗,減小噪聲。
(4)高效過(guò)濾器
高(gāo)效過(guò)濾(lǜ)器主要用於捕集0.1~0.5 μm的顆粒灰(huī)塵及各(gè)種懸浮物。
(5)電(diàn)子元件
FFU的控製大致可分為多檔控製、無極控製(zhì)、連續調節(jiē)、計算機控製等。同時實現單台控製、多台控製、分區控製、故障報警(jǐng)、曆史記錄等(děng)功能。

1:粗效過濾器
2:風機葉輪
3:電機
4:擋板
5:高效過濾器
6:電子元件
二、工作原理(lǐ)
在工作時,風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入並經粗效過(guò)濾器、高效過濾器(qì)過濾,采用獨(dú)TE的通風管(guǎn)道,過濾後的潔淨空氣在(zài)整個出風麵以(yǐ)0.45 m/s±20%的風速均勻送(sòng)出。
三、主要(yào)設計參數
FFU的主要(yào)設計參數有:麵風速、功耗、風速均勻度、機外靜壓、總靜(jìng)壓、噪聲、振動速率(lǜ)等,具體參數可參考《FFU綜合應用手冊》。
(1)麵風(fēng)速(sù):麵風速一(yī)般介於0~0.6 m/s之間,如是五檔調速則(zé)是各檔對應的風速大致是0.3-0.35-0.4-0.45-0.5 m/s,無極(jí)調(diào)速則大(dà)致(zhì)是0~0.6 m/s。
(2)功耗:交流係統一般在100~300 W;直流係(xì)統在50~220 W,直流係(xì)統與交(jiāo)流係統相比,功耗降低30~50%。
(3)風速均(jun1)勻度:指(zhǐ)FFU麵風速的均(jun1)勻度,高級別的潔淨室極易引起擾流,對其(qí)要求極為(wéi)嚴格。優異的風機、過濾器及散流板(bǎn)設計、工藝水平決定該項參數的優劣,測試該項參數時,根據FFU出風麵的大小,均勻(yún)選取6~12個點測試麵風速,其最大、最小值相比平均值不得超過±20%。
(4)機外靜(jìng)壓(yā):也稱餘壓,該參數關係FFU的使用壽命,其(qí)與風機密切相關,一般(bān)要求在麵風速0.45 m/s時,機外靜壓不小於90Pa。
(5)總靜壓:也稱總壓,即FFU在最大功率,風速為零(líng)時,其能提供(gòng)的靜(jìng)壓值,一般交流(liú)FFU的總靜壓大約為300 Pa,直流FFU的總靜壓為500~800 Pa。在一定風速下,一般可以這樣計算:總靜(jìng)壓(TSP)=機外靜壓(ESP,FFU提供的克服外界管道、回(huí)風道阻力的靜壓)+過濾器壓損(該風(fēng)速(sù)下的過濾(lǜ)器阻力值)。(6)噪聲:一般噪聲介(jiè)於42~56 分貝(dBA)之間,使用時比較關注麵風速0.45 m/s,機外靜壓在100 Pa時的噪聲(shēng),同等規格尺寸的FFU,直流的比交流的要(yào)小1~2 dBA。
(7)振動速(sù)度:一般小於1.0 mm/s。
四(sì)、分(fèn)類及特點
FFU 按照機箱材質不同分為G\S\A\O 四種型號,標準型塗層鋼板(包括鍍鋅、鍍鋁鋅、噴(pēn)塑等),代號G;不鏽鋼板,代號S;鋁板(鋁合金板),代號(hào)A;其他材質,代號O。
FFU按照電機方式分類,可分為交流電機和無刷(shuā)直(zhí)流電機。交流單(dān)相電機代號為A1;交流三相電(diàn)機代號為A3;直流無刷電(diàn)機代號為EC。
FFU交流供電機組按照機組控製方式不同分為單工況機組,用S表示;多工況控製(zhì)機組,用M表(biǎo)示。
按照機組靜(jìng)壓不同分為標(biāo)準靜壓型和高靜壓型。標準靜壓型代號為S;高靜壓型代號為H。
按照機組所帶高效過濾器效率不同可分為高效過濾器,代號為H;超高效過濾器,代號為(wéi)U;機組入口如(rú)帶有粗效預過濾器代號為P。
FFU具有靈活(huó)性、占用空間小、經濟(jì)、出風均勻穩定、負壓密封、單元多、占用架空空(kōng)間噪音大等特點。
靈活性。FFU結構(gòu)簡單,具有很好的(de)適應性,由於其(qí)特殊的節點(diǎn)構造(zào)方式,可根據(jù)工藝的需要進行組合和拚裝(zhuāng),采用(yòng)負(fù)壓密封使其簡化和(hé)可靠,又大大節省空調機房麵積,尤其適(shì)用於層高低、機(jī)房麵(miàn)積不足的改擴建項目。而對工藝變更的適應性,FFU優勢更加明顯,當工藝發展需要(yào)提高潔淨級別或改變潔淨區域時(shí),隻需采取增加FFU的數量或改變安裝位置就可達到保證潔(jié)淨度或更改潔淨區域的目的,不僅方便而且可以(yǐ)大大節省改造(zào)投資。
占用空間小。相比於集中式空調機組不僅(jǐn)省去機(jī)房,而且(qiě)大大簡化了風管、水管的(de)設置,極大(dà)地(dì)節(jiē)省了使用空間。
經濟性。從初投資和運行費用兩方麵來看,目前FFU產品種類齊全,製造技術較為成熟,產品價格大大降低,在設計合理的情況下,其初投資往往可低於集(jí)中式空調機組。在運行費用(yòng)方麵,近年來在提高風(fēng)機和電機的效率方麵(miàn)取得了較大的進展(zhǎn),FFU的能耗大大降低,進一步降低了運行(háng)費用。一般認為,FFU送風方(fāng)式潔淨室的運行(háng)費用大約是傳統集(jí)中(zhōng)送風方式潔淨室的60%~80%。
出風均勻穩定。FFU自帶風機(jī)和過濾單元,通過計算機群控方式很容易達到出(chū)風均勻的目的,比集中式空調係(xì)統通過閥門控製的方式更加方便快(kuài)捷有效。
負壓密封。FFU送風方式的靜壓箱為負壓,風口(kǒu)安裝的密封相對容易,而且即使出現泄漏,也是從潔淨室向FFU靜(jìng)壓(yā)箱泄漏(lòu),不會形成對潔淨室的汙染。
采用FFU送風係統需要大量FFU單元(yuán)和架空地板,造價相對較高,而集中式送風方式不使用架空地板,甚至可采用上送(sòng)上回方(fāng)式,省去回(huí)風夾道,大大減少造價。
FFU不適合對噪聲有嚴格要求的場所,因為FFU一般數量較多,且風機處在潔淨室內或吊(diào)頂內(nèi)反射聲波(bō),噪聲一般很大。FFU通常幾(jǐ)十台甚至上百台組合一起使用,在噪聲疊加後要保證潔淨室總(zǒng)體噪聲滿足規範要求比較困難(nán)。目前采用FFU方式(shì)的大麵(miàn)積潔淨室噪聲超標比較普遍,有些甚至高達(dá)70 dB(A)。
五、使(shǐ)用與現場檢驗
風機過濾單元的安裝應遠離加熱器、火爐或其它熱(rè)源。設(shè)置風機過濾單元場所不可放置易燃物,以免發生火災。需要注意的是,不能(néng)在機體附近(jìn)使用具有爆炸性或揮發性的化學物品,如果機體吸入這(zhè)些化學物品將有可能(néng)會導致火災或爆炸等。不能(néng)再機體附近(jìn)使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性的化學藥品,其有可能會導致機體(tǐ)腐蝕及損壞。
風機(jī)過(guò)濾單元安裝於潔淨室時,應更換防塵衣以(yǐ)免攜帶灰塵進入室內,並以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內,以酒精(jīng)清理衣櫃未保護處以免攜帶灰塵進入室內,點檢時請使用防塵紙及原子筆作(zuò)記錄以免再產生(shēng)灰塵。勿以沾濕的手操(cāo)作機體,以免發生觸電危險。勿遮蔽機體進風口及出風口,這將導致機(jī)體性能無法正常發揮,造成機體功能異(yì)常或電氣(qì)部件損壞。
運轉前,需(xū)檢查機體(tǐ)外(wài)部電(diàn)源是否連接,電源供應(yīng)是否妥當。機體上方空氣(qì)進(jìn)風口及下方濾網的保護膜是否已取下。
運(yùn)轉時注意事項:
(1)開始運轉
當電源開啟後,機體即開始運轉。有下(xià)列情(qíng)形發生,機體無法正常運(yùn)轉時,請向專業人員反映:
① 機(jī)體內部有異物,離心(xīn)風扇無法正常(cháng)旋轉。
② 機體內部電線脫落,接頭(tóu)鬆脫。
③ 機體(tǐ)內部電氣部件損壞,如(rú)電源插(chā)頭、馬達。
(2)停止運轉
運轉後如發現異常現象(xiàng),請立即(jí)切斷電源,停止機體運轉。現場檢驗,包括風機過濾(lǜ)單元與潔(jié)淨室圍護結(jié)構相連的接縫必(bì)須(xū)密封,在清潔的(de)現場進(jìn)行外觀檢查,目測不得有變形、鏽蝕、漆膜脫落、拚接(jiē)板破損等現象(xiàng);在係統(tǒng)試運轉時,必須在進風口處加(jiā)裝臨時中效過濾器作為保護。
高效過濾器應在潔淨室及淨化空調係統進行全麵清掃和係統連續(xù)試運行12h以上後,在現場拆(chāi)開包裝並進行(háng)安裝。安裝前需進行外觀檢(jiǎn)查和儀器檢漏。目測不得有變形(xíng)、脫落、斷(duàn)裂等破損現象;儀器(qì)抽檢檢漏應符合產品質量文件的規定。合格(gé)後立即安裝,其方向必(bì)須正(zhèng)確,安裝後的高效過濾器四周及接口應嚴密(mì)不漏;在調試前應進行掃描檢漏。過濾器金屬外殼接地必須良好。
高效(xiào)過濾器泄漏測試基本(běn)上是把微粒釋放在高效過濾器上遊,然後在高效過濾器表麵與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無泄漏。氣溶膠光度計是微粒計數器的一種,也是使用鐳射科技,但是它在掃描空氣樣本的微粒之後(hòu),所給的是微粒的總體強度,不是微粒數目。DOP是一種油性(xìng)化學物質,加壓或(huò)加熱霧化之後,可以產生次微米等級的微粒,可用來(lái)仿真無塵室的微粒,因此被當成驗證微粒。泄漏的定義是泄(xiè)漏出上遊濃度萬分之一,由於氣溶膠(jiāo)光度計可以直接顯示上下遊微粒濃度的比值,因此掃描高效過濾器非常(cháng)方便。也(yě)正因其準確、可靠,美國食品與藥品管製局(FDA)規定,在其(qí)管轄範圍內(食品加工場所與(yǔ)醫療製藥場所),所有的高效過濾器泄(xiè)漏測試必須使(shǐ)用DOP與氣溶膠光度計。
六、維護
自購買日起進行定期檢查,請勿自行檢查,以免造成(chéng)觸電或火災等事故發生。除了維(wéi)修人員外,請勿自行(háng)拆(chāi)解、修理或變更(gèng)規格(gé),以免造成觸電或火災的發生。當更換濾網等部件時,請注意不要損壞濾紙。維修、點(diǎn)檢時,請務必(bì)先切斷電源,停止機器運轉後(hòu)再實施,以免發生觸電或傷害危(wēi)險。當安裝、維修、點檢完成後(hòu),在機(jī)體起動前,確定機(jī)體基礎穩固。
每天(tiān)工作開始之前依表點檢下列(liè)各項,當發現有不正常的情形,立即切斷電源並采取改正措施。離心(xīn)風機及電機離心風扇必須(xū)旋轉平順,沒有產生異常(cháng)聲音,若聽到異常聲音,請確認送風機內有無異物以及電機軸承(chéng)的聲音是否異常,若電機有問(wèn)題,請更換電機。過濾器過濾器表麵有無損傷、汙點等。風機過濾器單元實施定期(qī)點檢,當部件壽命(mìng)已至時,請立即進行部(bù)件(jiàn)更換。(部件壽(shòu)命指一般使用狀況下之壽命,會(huì)因使用環境及使用狀況而有所差異)。當由(yóu)於不可抗力(如地震、電擊等)或化學藥品的泄漏(腐蝕氣體等)意外(wài)發生,停機再(zài)啟動後,請務必實(shí)施相同的檢查。