
潔淨室中過濾器的安裝密封,是確保潔淨室潔(jié)淨度的關鍵因素之一,因此(cǐ),在潔淨室設計時,應該選擇先進的(de)密封技術和可靠的密封方(fāng)法。
1、接觸(chù)填料密(mì)封(fēng),密封用填料有固體密封墊如:氯丁橡膠,閉孔海綿橡膠(jiāo)板等)和液密封膠(如:矽橡膠、氯丁橡膠、天然橡(xiàng)膠)。固體密封墊有一般采用(yòng)螺栓母機械壓緊的密封方法。橡(xiàng)膠板的(de)壓縮量一般為30%-50%。液體密封膠(jiāo)是靠填充和粘(zhān)附方法密封。該密封方法是一般潔淨室zui常用的密封方法(fǎ)。
2、液槽刀口密封,在槽形框架中(zhōng)注人一定(dìng)高度的非牛頓密封液體(如(rú):氯異丁烯等),過濾器的刀口插入(rù)密封液裏,使兩(liǎng)側的空(kōng)氣通路受到阻隔,達(dá)到密封目(mù)的(de)。這種密封方法可靠性強,過濾器拆裝方便,通常應用於(yú)100級、10級和更別潔淨度的潔淨室密封。
3、負壓泄露密封(fēng),這種密封方法的原理是正壓空間泄露(lù)的汙染空氣,人為(wéi)疏導到工作區外的負壓空間,確保(bǎo)工作區不受汙染。這種(zhǒng)密封方(fāng)法(fǎ)通常用於升小(xiǎo)規格的潔淨室的密封。