
電子產品生產與潔淨(jìng)技術
國內外的潔淨技(jì)術的發展都是隨著科學技術的發(fā)展(zhǎn)、工業產品的日新月異,特別(bié)是軍事工業、航天、電子和生物醫藥等工業的發展(zhǎn)而不斷發展。現代工業新產品和現代科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。產品的微型化等的生產,要求有一個“潔淨的生產環境”,潔淨技術便是按照產品生產對“潔淨生產(chǎn)環境(jìng)”中的汙(wū)染物(wù)的控製要求、控製方法以及控製設施的日益嚴(yán)格而不斷發展(zhǎn)。潔(jié)淨生產環境—潔淨室(潔淨廠房)的(de)稱謂、名稱或定義(yì),先後使用過“無法室”、“無窗廠房”、“密閉(bì)廠房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”……等,潔淨室(shì)因定義為將(jiāng)空氣中的微粒、有害氣體、微生物受控的房間,以滿足產品生產的(de)需要;潔淨室的建造和使(shǐ)用應不引入(rù)或少引入微粒等,應不產生或少產生微粒等應不(bú)滯留微(wēi)粒等;應對(duì)潔淨室內的(de)溫度、濕(shī)度(dù)、壓力等參數按(àn)產品生產要求進(jìn)行控製;根(gēn)據產(chǎn)品生產要求還需對潔淨室內的氣流分布、氣(qì)流速度以及噪聲、振動、靜電等進行控(kòng)製。
根據電子產(chǎn)品生產的特點,以半導體集(jí)成(chéng)電路生產用潔淨室除應安裝產(chǎn)品生產(chǎn)用設備外,一般應具有下列(liè)功能設施:
淨化空調係統(tǒng)、淨化設備
潔淨(jìng)建築及(jí)裝飾
噪聲控製、防微振
防靜電、防電磁幹擾
電氣、照明
高純(chún)物質—高純水、高純(chún)氣、高純化學品供應
安全、報警係統
通信設施等
潔淨室設計是一門綜合技術,設計(jì)過程的關鍵專業技術是生產工藝技術及其工藝設計;空氣淨化專業設計;潔淨建築(zhù)設計以及各類產品生產所需的專(zhuān)業技(jì)術,如微電子(zǐ)產品生產所需的高純物質—高純水、高純氣的專業技術等。這些(xiē)專業技術在潔淨室設計中都是*的,它們(men)之(zhī)間必須密切配合,圍繞(rào)著滿足產品生產的需(xū)要,相互協調、統籌安排,在(zài)做好各相關專業設計的基(jī)礎上,處(chù)理好電源、冷源、熱源等動力供應,節約能(néng)源;設(shè)有各項安全設施(shī)—消(xiāo)防、防火、防爆、安全報警確保(bǎo)潔淨室的安(ān)全(quán)運行;安排好各類(lèi)配管配線,確保各種流體介質的輸(shū)送(sòng)質量(liàng),減少材(cái)料消耗,方便施工安裝和運行維護(hù)。