潔淨室的四種類型

潔淨室的四種類型
（1）非單向流潔淨區（qū）
（2）單向流潔淨區
（3）混合流潔（jié）淨區
（4）微（wēi）環境/隔離裝置
潔淨室按氣流型（xíng）式過去分非單向流的及（jí）單向流的（垂直、水平單向流），90年代中後期ISO14644-4中又提出了混合流的型式，即把實際早已存在的在非單向流潔淨室設置局部的單向流的潔淨工作台/站（zhàn）或層流罩等對關鍵部位進行“點”的“線”的（de）保護以減少單向流潔淨區的麵積。如（rú）手術室、製藥廠、實驗室（shì）及小批量生產的潔淨室中尚采用這種“點”的保護。而半導體工廠常采用“潔淨隧（suì）道”形式（shì）形成“線”的保護，即（jí）把較多工（gōng）序的各（gè）台設（shè）備的關鍵加工區置於非單向（xiàng）流潔淨室（shì）的層流罩（zhào）內，各台設備的關鍵加工（gōng）區一般（bān）都麵對布置。微環境/隔離（lí）裝置，是（shì）80年代出現的，90年代以後應用逐漸廣泛，它與潔淨室（shì）的概念是不*相同的，它（tā）是（shì）無（wú）人在內的（de），是工（gōng）藝加工設備的關鍵加工部位*與周圍環境隔離（lí）並進行加工，防（fáng）止人等周圍環境對其加工的汙（wū）染。它必（bì）須是密切與工藝及工藝設（shè）備相結合的，實質上它已成為工（gōng）藝設備的一個組成部（bù）分。