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實用潔淨室的構造形式

更新(xīn)時間(jiān):2016-06-08  |  點擊率:2576

實用潔淨室的構造形式
實用潔淨室主要是根據工藝特點進(jìn)行布置(zhì),在滿足使用要求的前提下求得經濟合理,當然不外乎以上四種類型的潔淨室(shì)進行組合。已有典型的構(gòu)造形式如下(xià):
(1)開放式
大麵積(jī)的單向或非單向流潔淨室。常用於工藝過(guò)程對各潔淨區要求的潔淨度差別不大的,其特點是:
①優點:靈活性好,便(biàn)於調整(zhěng)和變(biàn)更,設計簡單(dān),空氣處理係統單(dān)一。
②缺點(diǎn):高運行費用,對大麵(miàn)積的單向流,其回風通(tōng)道所占麵積(jī)/空間大;防火分隔受限(xiàn)製,安全性(xìng)差。
(2)套間式
各潔淨區按(àn)工作(zuò)的工序及潔淨(jìng)度要求進行分(fèn)隔及連通,並進(jìn)行各區間的壓差控製,多用於製藥工業手術部(bù),亦常把此歸入開(kāi)放(fàng)式內。
(3)隧道式(shì)
是IC工廠潔淨室在80年代末90年代初(chū)常較(jiào)多采用一種形式,是以“線”保護替代“麵”保護的典型代表。它有(yǒu)二種基本形式:一是把各有關工藝設(shè)備的關鍵加工(gōng)部位(即加工(gōng)物暴露於周圍(wéi)空氣中的部位)與設備的服務部位加以(yǐ)物理分隔,一般各設備的關鍵加工部位都麵對布置,置於單向流潔(jié)淨(jìng)區(潔淨隧道內),而設備的服務部(bù)位置於要求不(bú)嚴的非單向(xiàng)流潔淨區內,以實現減少單向流潔淨區的麵積;另(lìng)一種形(xíng)式是把各(gè)工藝設備的關鍵加工部位置於非單向流潔(jié)淨隧道的罩(zhào)流層下,其它都同前。其特點是:
①優點:把單向流潔淨區限製(zhì)到zui小;減少循環風量節省運行費用;潔淨隧道的回風可回至設備服務區,此區可作為回風道向上回風,防(fáng)火分隔簡單,運行安全。
②缺點:設計時需要仔細,較麻煩,靈活性差。
(4)微環境(jìng)/隔離裝置+開(kāi)放式潔淨室
這種形式當(dāng)前製藥工業已(yǐ)采用較普遍,根據(jù)導投資可節省10~15%,運行(háng)費用可望節約40~50%。在IC工廠采用這種形式與其它形式(shì)就潔淨(jìng)室設(shè)施的投資及運行費用而(ér)言,肯定(dìng)是經濟(jì)的,但帶來微環(huán)境的工藝(yì)設備以及(jí)自(zì)動傳送係(xì)統等(děng)投資的增加等,其綜合經(jīng)濟效果如何,存在著不同看法,如亞洲、歐洲采用得較多,而美國則很少采用。由於潔淨室潔淨度要求的(de)降低,隨(suí)之帶(dài)來潔淨服係統等(děng)要求降低而節省購買費及清洗等費用亦是可觀的。
(5)模塊式潔淨室(shì)
模塊式潔淨室近10年來發展亦快,隨著FFU的發(fā)展,對模(mó)塊式(shì)潔(jié)淨室靈活、方便性更加體現,一般一天可以安裝完成。模塊式潔淨(jìng)室一般適宜用(yòng)於空調參數與所處背景環境基本一致的場合,它(tā)的牆、天花等都不用另加保溫材料,目前情況是:滿(mǎn)足潔淨度等級ISO4級及以上;可視的即透明的聚丙烯牆板或消靜電的PVC材料兩種材料。
潔淨室形式的變化(huà)都是伴隨工藝發展(zhǎn)和(hé)變化現的,以上各種形(xíng)式,各適用於一(yī)定的條件及要求。以IC工廠(chǎng)的潔淨隧道與開放式潔淨室為例,在(zài)某些規模及要求下,開放式的亦還有采用的。
 

 

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