潔淨室施工（gōng）-潔淨室性能測（cè）試（shì）（已裝空（kōng）氣（qì）過濾器的檢漏）

1、空氣過濾器安裝後的檢漏是確認安裝質量，檢測空氣過濾器送風（fēng）口的整個麵、過濾器的周邊、過濾器外框（kuàng）和（hé）安裝框架之間的密封（fēng）處。檢漏時，從過濾器的上風側引入測試氣溶（róng）膠（jiāo），並立即在其（qí）下風側進（jìn）行檢測（cè）。該項測試一般在潔淨室（區）的“空態”或“靜態”進行。
2、空氣過濾器安裝後的檢漏方法有光度計法和（hé）粒子計數器法。光度計法一般用於（yú）帶小型空氣處理係統的潔淨室或安（ān）裝有氣溶膠注入點的管路係統，可達到（dào）規定的高濃（nóng）度測試氣（qì）溶（róng）膠；由於粒子計數器法的靈（líng）敏性好和汙染少，一般都采用粒子計數器法（fǎ）進行空氣過濾器安裝後的檢漏。
3、采用光度計（jì）法進行掃描檢漏時，被測試的過濾器的zui高穿透粒徑的穿透率等（děng）於或大於0.005%。所（suǒ）采用的測（cè）試氣溶膠不應對潔淨室（區）內的產品或工藝設施帶來影響。
在進行光度計法（fǎ）檢漏前，被（bèi）測試（shì）過（guò）濾器應在額定風速的80%至120%與之間運行，並確認其送風的均勻性。
被（bèi）測（cè）試過濾（lǜ）器（qì）的上（shàng）風向引入（rù）的（de）氣（qì）溶膠的濃度（dù）應為10mg/m³至100 mg/m³。濃度低於20 mg/m³時，將會降低檢漏的靈敏度，而濃度高於80 mg/m³時，若長時間測試會造成過（guò）濾器的汙堵。在過濾器檢漏前應確認（rèn）氣溶膠的濃（nóng）度和均勻性。
檢漏掃描時，若采用3cm×3cm方形探管，掃描速度不得超過5cm/s，矩形探管的zui大麵積（jī）掃描（miáo）率不得超過15C㎡/s。在掃描過程中，若顯示有等於或大於限值的泄漏時，則應將探管停留在泄（xiè）漏處。空氣過濾器（qì）的（de）泄漏限值是指超過上風（fēng）向（xiàng）測試氣（qì）溶膠濃度10^-4的泄漏，或與業主協商確定。
4、采用粒子計（jì）數器法進（jìn）行掃描檢漏時，被測試的空氣過濾器（qì）zui高穿透粒徑的穿透率大於或（huò）等於0.00005%。不允許（xǔ）采用可能沉積在過濾器或管道上的揮發性（xìng）油光塵的測試（shì）用氣溶膠。
在進行粒子（zǐ）計數（shù）器檢漏前，被測試過濾器應在額定風速的70%至130%之間運行，並確認其送風的均勻性。
檢漏掃描時，采（cǎi）樣口距離被測部位應小於5.0cm，以0.05m/s的速（sù）度移動。空氣過濾（lǜ）器下風側測試（shì）得到的泄漏濃度換（huàn）算的透過率，不得大於該過濾（lǜ）器出廠合（hé）格透過率（lǜ）的3倍。
5、安裝（zhuāng）在管道（dào）或空氣處理機內的（de）空氣過濾器的檢漏，檢測可（kě）采用（yòng）光度計法或（huò）粒子計數器法。用於（yú）安裝在管道或空氣處理機內的（de）zui易穿透粒徑的穿透（tòu）率大於0.005%的空氣過濾器的檢漏。
檢漏時（shí），被檢測過濾器就在設計風速的70%~130%之間運行，並（bìng）確認（rèn）其送（sòng）風均勻性。上風向引入的（de）大氣塵或氣溶膠濃度應能滿足在下風向測試得到具有（yǒu）統計意義的讀數。
測（cè）試時，應將采樣口距離被測部位30cm至100cm處，在管道中應距管壁2.5cm，記錄實測的含塵濃度。
空氣過濾（lǜ）器檢（jiǎn）漏的限值（zhí），采用光度計法時，不（bú）得超過10^-4（0.01%）；采用粒子計數器法時，不得大於出廠合格透過率的3倍。