
風壓測(cè)試儀器:主要用於測定(dìng)潔淨室之間和潔淨與非潔淨區之間微壓差,也可利(lì)用壓差法測量風速,計算風量。
1、液體壓力(lì)計:液體壓力計具有使用方便、價格(gé)低廉、度(dù)較高、製造安裝方便等(děng)優點,但有測量範圍受限製、玻璃管易碎等缺點。
常用(yòng)的(de)工(gōng)作液(yè)體有:酒精、水、水銀等,在潔淨(jìng)室測量中主要(yào)是酒(jiǔ)精和水。
液體壓力計主要有:U型管壓(yā)力計、斜(xié)管(guǎn)壓力計(jì)、補償式壓力計。
2、彈簧壓力計:彈簧壓力計是根據彈簧元件在所測壓力作用下發(fā)生變形,其變形量與所測壓力成函數關係這一原理製(zhì)成的,其優點是構造簡單(dān)、便於攜帶、安裝方便、價格低(dī)廉。
常用(yòng)的彈(dàn)簧(huáng)壓力計主要有:彈簧管壓(yā)力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。
3、電學壓力計:電學壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻(zǔ)變化等電學方法來測定壓力的壓力計(jì),適用於測量變化極快、數值很高或近乎真空時的壓力。