
1、 靜壓差的測定要求:
(1)靜壓差的測定是潔淨區內所有的門全關(guān)閉狀態下進行的。
(2)應從潔淨(jìng)度高(gāo)到潔淨度低的房間順序(xù)進行,一(yī)直到直通室外(wài)的房(fáng)間。
(3)測管口設置在室(shì)內不受氣流幹擾的地方。
(4)所測數據應到1.0Pa。
2、靜壓差(chà)的測定步(bù)驟:
(1)是將潔淨區內所有的門全處於關閉狀態下。
(2)用微(wēi)壓差計測量潔淨室之間,潔淨室和走廊之間,走廊與(yǔ)外界之間的壓差。
(3)記錄在案。
3、靜(jìng)壓差測定用的儀器:
靜壓差測定(dìng)一般采用的(de)儀器為YJB-150型補償式微壓計,傾斜式壓力計,精密指針式壓力(lì)計或(huò)靈敏度小於1.0Pa的其它壓力計。
4、合格標準:
(1)不同級別的潔淨室(區)與非潔淨室潔淨室(區)之間(jiān)的靜壓差應不小於5Pa。
(2)潔淨室(shì)(區(qū))與室外的靜壓差應不小於(yú)10Pa。
(3)對於潔淨度等(děng)級嚴於5級的單相流潔淨室在開門時,門內0.6m處室內工作麵的含塵濃度(dù)應(yīng)不(bú)大於相應級別的含塵濃度(dù)限(xiàn)值。