潔（jié）淨室懸浮（fú）粉塵的測定儀器及測定方法

測定潔淨室空氣中的（de）懸浮粉塵的方法（fǎ）一（yī）般有以下兩種：
1、懸浮測定（dìng）法對懸（xuán）浮在空氣中（zhōng）的粉塵進行直（zhí）接測量，此種方法稱為直（zhí）接濃度測定法。
2、捕集測定法將空（kōng）氣中的懸浮粉塵單（dān）獨捕集在濾紙、玻璃蓋片上或蒸（zhēng）餾水中，然後測其濃度的（de）方法稱為間接測定法。這種測定方法需要捕集（jí）粉塵和定量分析兩（liǎng）步操作，因此，通常需花（huā）費很多時間，並（bìng）且操作要熟練。
按（àn）不同的測定方法進行分類（lèi）的測定儀器有多種，無塵（chén）車間如小流量空氣采樣器、大流量空氣采（cǎi）樣器、數（shù）字（zì）粉塵計以及粒子計數器，而這裏隻介紹用於潔淨室（shì）內的測（cè）定儀器一粒子計數器。
粒子（zǐ）計數器（光散射式粒子計數器或者其他類型粒子計數器），該檢測器使待測空氣成為細流（liú）束流造散射（shè）腔（qiāng）區域，光源從側麵照（zhào）射腔內，每（měi）個粒子的散射光以電流脈衝形式接收（shōu）下來，散射光的強度與粒（lì）子表（biǎo）麵積成正比，粒子尺寸越大，散射光強度越大，其電流脈衝（chōng）信號（hào）越強。檢測器根據其脈衝信（xìn）號的（de）輻度和累計個數自動檢測出不同粒徑的粒子個數。