
1963年,美國潔淨室標準FED-STD-209中,按每立方英尺中≥0.5MM粉塵數量的zui高允許(xǔ)濃度,將潔淨室(shì)分成若幹等級,如100級、10,000級、100,000級(jí)。世界上許(xǔ)多(duō)國家都加以效仿。
1999年,標準化組織(zhī)ISO頒布了一項標準《ISO14644-1 潔淨室與受(shòu)控潔淨環境》*部分:空氣潔淨度分級。標準中采用了新的分級。
2001年,中(zhōng)國新頒布的潔淨室設計標準(zhǔn)中采用了ISO分級(jí)。
電子(zǐ)工業和製藥業是與潔淨室關係zui密(mì)切的兩個行業。ISO標準一出現,電子行業(yè)立刻改用ISO標準定義的潔(jié)淨室級(jí)別,而製藥業目前仍沿用老的潔淨級別規(guī)定。中國1998年版GMP規範中(zhōng)比前一版增加了個30萬級。