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電子(zǐ)潔淨室的靜壓差檢測

更新時間:2015-04-13  |  點擊率(lǜ):2331

1、檢測要求(qiú)      
(1)靜壓差的測定要求在(zài)潔淨(jìng)區內的所有(yǒu)的門全部關(guān)閉情況下進行。      
(2)在潔淨室平麵上應從潔淨度由高到低的順序依次進行,一直檢測到直通室外的房間。     
(3)測管口設在室內(nèi)沒有氣(qì)流影響的任何(hé)地方均可,測管口麵與氣流流線平行。     
(4)所測量記錄的數據應到O.lPa。   
2、普通傳遞窗檢測方法     
(1)先關閉所有的門。
(2)用微差壓計測量各潔淨室之間、潔淨室走廊之(zhī)間、走廊與外界之間的壓差。     
(3)記錄所(suǒ)有(yǒu)數據。
3、測量儀(yí)器采用YJB-150補償微壓計,量程0—1 500Pa或其他微壓力計,儀表靈敏度小於0.1Pa。     
4、合格標準按照傳遞窗原理潔淨室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔淨室的(de)正壓或負壓值(zhí)。    
(1)不同級別的潔淨室或潔淨區(qū)與非潔淨室(區)之間的靜壓差,應不小於4.9Pa。     
(2)潔淨(jìng)室(shì)(區(qū))與室外的靜壓差,不應小於9.8Pa。      
(3)對於空氣潔淨度等級嚴於5級(jí)(100級)的單向流潔淨(jìng)室在開門時,門內0.6m處的室內工作麵含塵濃度應不大於(yú)相應級別的含塵濃度限值。    
(4)若達不到以(yǐ)上標準的要求,應重新調整新風量(liàng)、排風(fēng)量,至合格為止。

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