
風淋(lín)室屬於光學薄膜潔淨室的一(yī)種常見設施。光學薄膜主要由(yóu)薄的分層介質構成(chéng)的,通過界麵傳播光束的一類光學介質材料,如今光(guāng)學薄膜已廣(guǎng)泛用於光學和(hé)光電子技術領域,製造各種光學儀器(qì)。光學薄膜的特點是:表(biǎo)麵光滑,膜層之間的界麵(miàn)呈幾何分割。膜層的折射率在界麵上可以發生躍變,但(dàn)在膜層內(nèi)是(shì)連續的,可以(yǐ)是透明介質,也可以是光(guāng)學薄膜吸收介質(zhì);可以(yǐ)是法向均勻的,也可以是(shì)法向不均勻的。實際應用(yòng)的薄膜要比理想薄膜(mó)複雜得多。這是因為在製備時,薄膜的光學性質和物理性質偏離大塊材料,其(qí)表麵和界麵是(shì)粗糙的,從而導致光束的漫散射,膜層之間的相互滲透形成擴散界麵。由於膜層的生長、結構、應力等原因,形成了薄膜(mó)的各向異性,膜層(céng)具有(yǒu)複雜的時間效應(yīng)。
光學薄膜按應(yīng)用(yòng)分為反射膜、增透膜、濾光膜、光學保護膜、偏振膜、分(fèn)光膜和位相膜。常用的是前4種。光學反射(shè)膜用以增加鏡麵反射率,常用來製造反光、折光和共振腔器件。光學增透膜沉積在光學元件表麵(miàn),用以減少表麵反射,增加光(guāng)學係統透(tòu)射,又稱(chēng)減反射膜。光學濾光膜用來進行光譜或其他光(guāng)性分割,其種類多(duō),結構(gòu)複雜。光學保護膜沉積在金屬(shǔ)或其(qí)他軟性易侵蝕材料或薄膜表麵,用以增加其強度或穩定性,改進光學性質。zui常見的是金(jīn)屬鏡麵的(de)保護(hù)膜。
風淋室備在光(guāng)學薄膜生產車間(jiān)使用的主要原因(yīn)是光學薄膜生產車間潔淨度要求高,光學薄膜不(bú)能有一點灰塵。進入光學薄膜生(shēng)產車間,每(měi)個人必(bì)須換上工人工(gōng)作時穿的衣服、帽子(zǐ)、鞋子與口罩。我們被包裹得嚴(yán)嚴實實,隻有一雙眼睛露在外麵。要經過了(le)一道“風淋室"去塵,每個人被風淋(lín)室吹出潔淨風渾身“沐浴"一遍。風淋室是員(yuán)工進入潔淨(jìng)室與非潔淨室*的淨化設備之一(yī),它(tā)可以zui大限(xiàn)度地減少員工進出潔淨室所帶來的汙染問題,對待進(jìn)入光學薄膜生產車間管理中起(qǐ)到一定的作用(yòng)。在其它特定的潔淨車間內,還配置了(le)多條百級超淨工作台生產流(liú)水線使用。