如何對潔淨室內的（de）環境控製？

潔淨室內之汙染路來源，經測（cè）試分析結果，作業人員占約80%。實（shí）驗數據顯示（shì），作業人員進出潔淨室時塵埃有（yǒu）顯著增加，有（yǒu）人動作時（shí），潔淨度馬上劣化，可見潔淨（jìng）度劣化之原因人是主要因素。
潔淨室的汙染源可分為（wéi）外（wài）汙染（rǎn）及內汙染源。外汙（wū）染源主要包括空調（diào）送風、間隙滲（shèn）入、建築物、工作（zuò）服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水（shuǐ）、溶劑等；而內汙染源則包括製程設備、工（gōng）作人員、工具（jù）、加工製程、隔間（jiān）材料、工作桌、包裝材料等。
對矽芯片而言，微塵粒子之（zhī）附著將造成集（jí）成電路線路的變形或短（duǎn）路，使芯片失去運作功能（néng），因此微汙染源的控製已成為潔淨（jìng）室管理的重要環節（jiē）。微汙染控（kòng）製，其基本原則有（yǒu）四（sì）：
1、外部塵埃侵入之防止
潔淨室適當之正壓保（bǎo）持（>0.5mmAq），做好施工工（gōng）程之不漏氣，人員設備、原材料搬入潔淨室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設（shè）置。
2、室內發塵之防止
隔間板（bǎn）、地板等潔淨室材料的適當選用、製程設備的發（fā）塵抑製、生產自動化及人（rén）員不聚集、動作放（fàng）鬆、潔（jié）淨衣（yī）的（de）管理、使用潔淨室器等。
3、室內（nèi）發塵之不積留
牆壁體應光滑*、潔（jié）淨（jìng）室需（xū）定期（qī）保養（yǎng）和清掃、製程設備四周應（yīng）留有空間。
4、發生塵埃之排（pái）除（chú）
換氣次數應足夠，適當的（de）空間布置（zhì）以及汙染源接排氣和空調的氣（qì）流速度（dù）須適當。人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關聯之問題、室內之空調及清掃關係之問題。