無塵室內的檢測工具主要有哪些？

1.溫度
無塵室內溫度是指室內環境空氣（qì）的溫度，單位以攝氏度(℃)表示。可（kě）以使用玻璃溫度計、數字式(包括熱電（diàn）偶、熱電阻、半導體式)溫度計測定室內溫度，也可以使用（yòng）幹濕球濕度計、數字式濕度計和風速計所附（fù）的溫度計。要求溫度計（jì）測試範圍應在-10℃至50℃，準確度為±0.3℃。
注意：
（1）讀（dú）數時視線必須與標尺垂直，並與液柱麵處於同一水平麵。
（2）讀數時不可用手摸標尺或將溫度計（jì）取出插孔，更不允許用手（shǒu）握住溫包來讀數，否則將造成極大的誤差。
2.相對濕度
濕度是指空氣中水分的含量。有兩種表示方法：(1)濕度：單位體積空氣中所（suǒ）含水氣的質量；(2)相（xiàng）對濕度(RH)：空氣中實際水氣壓與（yǔ）同一溫度條件下飽和水氣（qì）壓之比值，單位用（yòng）%表示（shì）。濕度一般用相對（duì）濕度表示。相對濕度可以使用幹（gàn）濕（shī）球溫度計、氯化鋰露點式濕度計、電容式數字濕度計測定，要求濕度計測試範圍應在12%至99%，準確度為±0.3%。使（shǐ）用方（fāng）法參見所用儀器的使用（yòng）說明書。
3.空氣流（liú）速
室內外溫差、壓差、人工通風、空調、室內熱源（yuán）等都可引起空氣流動（dòng），同室外氣流一樣對汙（wū）染物有稀釋和擴散作用。空氣（qì）流速可用（yòng）熱（rè）球式電風速計和式電風速計測量，要求風速計測試範圍應在0.01 m/s至20m/s，準確度為±5%。使（shǐ）用方法參見儀（yí）器（qì）使用說明書。
4.新風（fēng）量
（一）原理
采用示蹤氣體濃度衰減法（fǎ）。在待測室內通入適量示蹤氣體，由於室內、外空氣交換，示（shì）蹤氣體的濃度（dù）呈指數衰減，根據濃度隨時間的變化值，計算出室內的新風量。
（二）儀器和（hé）材（cái）料
（1）袖珍或輕便型氣體濃度測定儀。
（2）尺、搖擺電扇。
（3）示蹤氣體：無色、無味、使（shǐ）用濃度無毒、安全、環境本底低、易采樣、易分析的（de）氣體。
表2示蹤氣體環境本（běn）底水平及安全性資料：
 
5.專業生產設備之選擇、布置與保養
a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵。
b.應選擇塵埃之影響（xiǎng）較小的生產設備或接口設（shè）備。
c.生產用之水、氣體、藥品等往往是（shì）造成汙染的原因，故應配備過濾裝置。
d.規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮（lǜ）不易積累（lèi）微（wēi）塵之結構，規劃各並以容（róng）易（yì）清潔為原則。
e.真空（kōng）泵等容易產生汙染物的（de）這類設備，應設置在無塵室（shì）外麵或回風區，並加裝排（pái）氣管（guǎn）線排氣。
f.設置給水（shuǐ）管線、氣體管線和電氣係統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累汙染（rǎn）物。
g.生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應加強注意室內的溫濕度控製，避免因濕度（dù）之不當造成結露生（shēng）鏽。
i.當設備維修時易產生（shēng）微塵粒子，故維修時盡量於清潔室外進行，並（bìng）加（jiā）隔離柵隔離。
j.對（duì）於施工或維修（xiū）之廠商，應告知進出無塵室之各（gè）項規定，且負責工程師應（yīng）隨侍在側監工。
k.應有無塵室工（gōng）具組，但不（bú）得帶出無塵室外使（shǐ）用。