潔淨室特定要求的檢測

1、機械振動的檢測
（1）機械振動的來源。機械振動（dòng）的來源主要有以（yǐ）下幾個方麵：大地（dì）固有的振（zhèn）動；潔淨室運行用設備的振動；生產用設備的振動；交通工具的振動；建築設備的振動；水流引（yǐn）起的振動；氣流引起的振動等。
（2）振動的（de）危害（hài）。其影響精密（mì）儀器的準（zhǔn）確度和精密加工（gōng）的精確度（dù）。
（3）振動的測量。振動主要有兩個技術參數：振動頻率（lǜ）和振幅。采用減振措施以後，振動量可以減小。用振動儀可以直接測量（liàng）振動的強度。
2、靜電的檢測
（1）靜電檢測（cè）的需（xū）求。靜電（diàn）有可能損壞（huài）電子設備、儀器儀表、甚至傷（shāng）害人體，引發爆（bào）炸（zhà）或（huò）燃燒。靜電對於集成（chéng）電路的影響較大，所以（yǐ）電子行業對於靜電檢測的要求較高。《潔淨（jìng）廠房設計規範》和《電子工業潔（jié）淨廠房設計規範》兩個強製性的國（guó）家標準都是中國電子工程設計（jì）院負責（zé）起草的，基本上代表了電子行業的觀點。標準中對於靜電有（yǒu）比較具體的要求。GB 50472-2008將靜電（diàn）分（fèn）為三個等級，相應的靜（jìng）電點位（wèi）值為：一級≤100V；二級≤200V；三級≤1000V。
（2）靜電的主要檢（jiǎn）測參數（shù）：包（bāo）括電（diàn）壓、電阻、電場、離子等。
（3）檢測方（fāng）法。靜電檢測可參（cān）照GB 50591-2010和電子行業（yè）標準（zhǔn）《電子產品和製造防靜電（diàn）係統測試方法》（SJ/T10694）進行。
3、電磁場的檢測
（1）電磁場的來源。有交變（biàn）電流就會（huì）有電磁（cí）場（chǎng）。高頻電流會產生電磁波。
（2）電磁場的危害。一般的電（diàn）磁（cí）場會影（yǐng）響儀器儀表和自動控製係統。強電磁場（chǎng）對人體有害。
（3）電磁場的測量（liàng）。電磁場主要有兩個（gè）技術指標，即頻率和強度，可以用場強（qiáng）儀進行檢測（cè）。
4、射線的檢測
（1）常見的射線。常見的（de）射線有電磁（cí）波、紫外線、X射線、γ射（shè）線（xiàn）、α射線、β射（shè）線等。
（2）射線的來源。交換變化的電（diàn）磁場會產生電磁（cí）波，高頻的（de）電磁波呈現射線特性，可以稱為電磁射線。紫外線多（duō）來源於（yú）紫外光源和太陽光。X射線多來源於被高能電子（zǐ）激發的物質。α射線、β射線多來源於具（jù）有放射性的重元素。
（3）檢（jiǎn）測方法。射線一般可以（yǐ）用相（xiàng）應（yīng）的射線（xiàn）計數器檢測，射線計數器一般都是直讀儀器，使用比較方便。需要注意射線對人體危害較大（dà），檢測人員（yuán）需要注意自（zì）我保護。
5、有害氣體的（de）檢測（cè）
（1）有害氣體的來源。潔淨室有害（hài）氣（qì）體的（de）來源主要有：通風帶進的有害氣（qì）體；室內裝（zhuāng）飾材料散發的有害氣體；室內設備散發的有害氣體；工作過程產生的有害氣體；人員（yuán）散發的（de）有害氣體。
（2）有害氣體的種（zhǒng）類（lèi）。不同的來源有不同的（de）有害氣體，不同的（de）對象（xiàng）有（yǒu）不同的（de）有害氣體。有的氣體對人體（tǐ）有害，有的氣體對儀器設備有害，有的氣體對產品有（yǒu）害。
（3）有害氣體的檢測方法。
1）用直讀儀器直接讀出有害氣體的濃度。直讀儀器主要（yào）由兩部（bù）分（fèn）組成：化學傳感器（qì）和電子放大顯示係（xì）統。此方法的特點是快遞、方便，缺點是往往（wǎng）精確度（dù）較低、儀器的使用壽命較（jiào）短。
2）采樣後帶回實驗室，使用光譜儀、色（sè）譜儀等分析確定有害氣體的濃度。此（cǐ）方法的特點是精確度較高、可（kě）靠性較（jiào）強，缺（quē）點是測定程序較複雜、需（xū）要（yào）的時間（jiān）較長。